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龍圖騰網獲悉銳立平芯微電子(廣州)有限責任公司;廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院申請的專利一種晶圓缺陷檢測優化方法及設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115621145B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211316650.8，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權一種晶圓缺陷檢測優化方法及設備是由張簡志勝;葉甜春;陳少民;李彬鴻設計研發完成，并于2022-10-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓缺陷檢測優化方法及設備在說明書摘要公布了：本申請實施例公開了一種晶圓缺陷檢測優化方法及設備，涉及半導體技術領域，方法包括：接收目標晶圓盒并獲取對應的尾數信息，尾數信息用于區分檢測批次，且目標晶圓盒中放置有通過各個腔體生產的待測晶圓；確定目標晶圓盒的目標檢測項目，并根據目標檢測項目、對應的晶圓抽檢機制以及尾數信息，從目標晶圓盒中抽檢對應編號的目標晶圓；其中，不同的檢測項目對應不同的晶圓抽檢機制，晶圓抽檢機制用于確定并計算抽檢晶圓的數量和標號；對選中的目標晶圓進行缺陷檢測。

本發明授權一種晶圓缺陷檢測優化方法及設備在權利要求書中公布了：1.一種晶圓缺陷檢測優化方法，其特征在于，所述方法包括： 接收目標晶圓盒并獲取對應的尾數信息，所述尾數信息用于區分檢測批次，且所述目標晶圓盒中放置有通過各個腔體生產的待測晶圓； 確定所述目標晶圓盒的目標檢測項目，并根據所述目標檢測項目、對應的晶圓抽檢機制以及所述尾數信息，從所述目標晶圓盒中抽檢對應編號的目標晶圓；其中，不同的檢測項目對應不同的晶圓抽檢機制，晶圓抽檢機制用于確定并計算抽檢晶圓的數量和標號；當所述目標檢測項目為亮場檢測時，確定為第一抽檢機制，所述第一抽檢機制包括從所述目標檢測盒中按照第一抽檢公式抽檢至少兩個來自不同生產腔體的待測晶圓；當所述第一抽檢機制抽取2個待測晶圓時，所述第一抽檢公式Px表示如下： Px＝a,b|a＝x+1,b＝x+14,x≤4 Px＝a,b|a＝x+2,b＝x+16,x≥5 當所述目標檢測項目為暗場檢測時，確定為第二抽檢機制，所述第二抽檢機制包括從所述目標檢測盒中按照第二抽檢公式抽檢n個來自不同生產腔體的待測晶圓；其中，n是不小于機臺腔體數量的正整數；當所述第二抽檢機制抽取5個待測晶圓時，所述第二抽檢公式Px表示如下： Px＝Ax+1,:,x≤4 Px＝Ax-2,:,x≥5 其中，Px表示在對應尾數和抽取機制條件下選中的目標晶圓，x表示目標晶圓盒的尾數信息，a，b表示選中的兩個晶圓編號，Ax+1,:表示選擇目標晶圓盒矩陣中第x+1行的所有晶圓，且所在行的5個晶圓來自所有腔體生產； 基于所述尾數信息以及所述第一抽檢公式或第二抽檢公式計算所述目標晶圓的編號，并選中對應的所述目標晶圓； 對選中的所述目標晶圓進行缺陷檢測。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人銳立平芯微電子(廣州)有限責任公司;廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院，其通訊地址為：510000 廣東省廣州市黃埔區開發大道348號建設大廈710室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。