中山大學陳欽順獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中山大學申請的專利一種三自由度激光干涉測量裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116428966B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310443051.0,技術領域涉及:G01B9/02015;該發明授權一種三自由度激光干涉測量裝置是由陳欽順;朱凡;黃銳婷;王金夢;陳艷;黃祥青;葉賢基設計研發完成,并于2023-04-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種三自由度激光干涉測量裝置在說明書摘要公布了:本發明公開了一種三自由度激光干涉測量裝置,包括:依次設置的激光發射模塊、激光分束模塊、干涉信號生成模塊和信號處理模塊,干涉信號生成模塊包括并行設置的第一、第二干涉信號生成模塊;激光發射模塊發射激光光束;激光分束模塊將激光光束分為頻率不同的兩個子光束;兩個子光束進入第一干涉信號生成模塊的兩個空間分離光路,分別得到第一測量光和第一參考光并形成第一干涉信號;兩個子光束同時進入第二干涉信號生成模塊的兩個空間分離光路,分別得到第二測量光和第二參考光并形成第二干涉信號;信號處理模塊對第一、第二干涉信號進行處理得到待測目標的俯仰角、偏航角和縱向位移。本發明能顯著降低光學非線性誤差,得到高精度的三自由度值。
本發明授權一種三自由度激光干涉測量裝置在權利要求書中公布了:1.一種三自由度激光干涉測量裝置,其特征在于,包括: 依次設置的激光發射模塊、激光分束模塊、干涉信號生成模塊和信號處理模塊,所述干涉信號生成模塊與所述信號處理模塊通信連接,所述干涉信號生成模塊包括并行設置的第一干涉信號生成模塊和第二干涉信號生成模塊; 其中,所述激光發射模塊發射激光光束至所述激光分束模塊; 所述激光分束模塊將所述激光光束分為頻率不同的第一子光束和第二子光束并入射至所述第一干涉信號生成模塊和所述第二干涉信號生成模塊; 所述第一干涉信號生成模塊包括第一光電探測器、光路空間分離的第一子光路和第二子光路,所述第一子光路、所述第二子光路并行設置在所述第一光電探測器的前面,所述第一子光束在所述第一子光路上形成第一測量光,所述第二子光束在所述第二子光路上形成第一參考光,所述第一參考光和所述第一測量光在所述第一光電探測器上進行干涉形成第一干涉信號; 所述第二干涉信號生成模塊包括第二光電探測器、光路空間分離的第三子光路和第四子光路,所述第三子光路、所述第四子光路并行設置在所述第二光電探測器的前面,所述第一子光束在所述第三子光路上形成第二測量光,所述第二子光束在所述第四子光路上形成第二參考光,所述第二參考光和所述第二測量光在所述第二光電探測器上進行干涉形成第二干涉信號; 所述信號處理模塊將所述第一干涉信號轉換為干涉測量過程中的噪聲本底,利用所述噪聲本底對所述第二干涉信號轉換后的電壓信號進行噪聲補償,最終得到待測目標的俯仰角、偏航角和縱向位移; 所述激光分束模塊包括:第一分光棱鏡、第一聲光移頻器、第二聲光移頻器、第一反射鏡、第一光纖耦合器、第二光纖耦合器、第一準直透鏡和第二準直透鏡; 其中,第一聲光移頻器和所述第一反射鏡對應設置在所述第一分光棱鏡的后面,所述第一光纖耦合器、所述第一準直透鏡依次設置在所述第一聲光移頻器的后面,所述第二聲光移頻器、所述第二光纖耦合器、所述第二準直透鏡依次設置在所述第一反射鏡的后面; 所述第一分光棱鏡將所述激光光束分為互相垂直的反射光和透射光,所述第一聲光移頻器對所述透射光進行移頻,所述第一光纖耦合器對移頻后的透射光進行耦合,所述第一準直透鏡將耦合后的透射光變為平行光并作為第一子光束;所述第一反射鏡將所述反射光反射至所述第二聲光移頻器,所述第二聲光移頻器對所述反射光進行移頻,所述第二光纖耦合器對移頻后的反射光進行耦合,所述第二準直透鏡將耦合后的反射光變為平行光并作為第二子光束; 所述第一反射鏡為45°反射鏡。
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