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龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江大學(xué)申請的專利一種基于亞波長結(jié)構(gòu)計算全息的極紫外光刻物鏡面形檢測方法及系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116989692B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202310740743.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/24；該發(fā)明授權(quán)一種基于亞波長結(jié)構(gòu)計算全息的極紫外光刻物鏡面形檢測方法及系統(tǒng)是由卞殷旭;匡翠方;高金銘;劉旭;李海峰設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-06-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種基于亞波長結(jié)構(gòu)計算全息的極紫外光刻物鏡面形檢測方法及系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種基于亞波長結(jié)構(gòu)計算全息的極紫外光刻物鏡面形檢測方法及系統(tǒng)。本發(fā)明基于亞波長結(jié)構(gòu)計算全息的極紫外光刻物鏡面形檢測方法通過亞波長結(jié)構(gòu)計算全息片的設(shè)計與應(yīng)用，能夠獲得極紫外光刻物鏡的高精度非球面面形數(shù)據(jù)，檢測精度可以達到RMS小于1nm。本發(fā)明的計算全息圖，高度單一，十分有利于低成本地精確刻蝕加工，且相位調(diào)制能力比傳統(tǒng)臺階型計算全息圖更大。

本發(fā)明授權(quán)一種基于亞波長結(jié)構(gòu)計算全息的極紫外光刻物鏡面形檢測方法及系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于亞波長結(jié)構(gòu)計算全息的極紫外光刻物鏡面形檢測方法，所述極紫外光刻物鏡為非球面反射鏡，其特征在于，包括以下步驟： 步驟1，根據(jù)被測非球面反射鏡的設(shè)計面形數(shù)據(jù)，確定與之匹配的亞波長結(jié)構(gòu)計算全息片的放置位置，并根據(jù)放置位置和面形數(shù)據(jù)，計算獲得亞波長結(jié)構(gòu)計算全息片的連續(xù)相位分布函數(shù)； 步驟2，對步驟1獲得的連續(xù)相位分布函數(shù)進行N個灰度級的離散化相位數(shù)值處理，其中N=2k，k是正整數(shù)； 步驟3，設(shè)計亞波長結(jié)構(gòu)計算全息片中的亞波長結(jié)構(gòu)單元的結(jié)構(gòu)參數(shù)與離散化相位數(shù)據(jù)的映射數(shù)據(jù)表，以此映射數(shù)據(jù)表作為亞波長結(jié)構(gòu)計算全息片結(jié)構(gòu)設(shè)計的依據(jù)； 步驟4，基于步驟3中的映射數(shù)據(jù)表，對步驟2中的離散化相位數(shù)值進行轉(zhuǎn)換，獲得亞波長結(jié)構(gòu)計算全息片的亞波長結(jié)構(gòu)單元設(shè)計方案，并按照該亞波長結(jié)構(gòu)單元設(shè)計方案在基板上進行圖案加工獲得所述亞波長結(jié)構(gòu)計算全息片； 步驟5，將所述亞波長結(jié)構(gòu)計算全息片放置于步驟1中確定的放置位置，由標準干涉儀發(fā)出檢測用的光線，經(jīng)標準平面鏡處理成平面波，并且一部分平面波反射回所述標準干涉儀形成參考光路，另一部分平面波透射過所述標準平面鏡并入射到所述亞波長結(jié)構(gòu)計算全息片上，將入射平面波轉(zhuǎn)換成非球面波，并且該非球面波與被測非球面反射鏡的面形匹配，非球面波入射到被測非球面反射鏡上，并經(jīng)被測非球面反射鏡反射后原路返回至所述標準干涉儀中形成測試光路； 步驟6，調(diào)整被測非球面反射鏡的空間姿態(tài)，使測試光路的光線在標準干涉儀中與所述參考光路的光線發(fā)生干涉，形成零位干涉測量，通過對獲得的干涉圖進行解算獲得被測非球面反射鏡的面形數(shù)據(jù)， 步驟3中，亞波長結(jié)構(gòu)單元為圓柱或圓孔柱； 圓柱或圓孔柱的高度為：lamdag-1，其中，lamda為所述標準干涉儀發(fā)出檢測用的光線的波長，g為所述亞波長結(jié)構(gòu)計算全息片的折射率； 步驟3中，亞波長結(jié)構(gòu)計算全息片中的亞波長結(jié)構(gòu)單元的結(jié)構(gòu)參數(shù)與離散化相位數(shù)據(jù)的映射關(guān)系為： 當(dāng)亞波長結(jié)構(gòu)單元為圓柱時，lamda表示所述標準干涉儀發(fā)出檢測用的光線的波長，圓柱的直徑為R1，圓柱的折射率為g，入射光為平面波，圓柱的高度H1為lamdag-1，將R1設(shè)為可變參數(shù)，lamda、g、H1作為恒定變量參數(shù)，帶入到麥克斯韋方程組中，輸出變量為相位，以時域有限差分法為近似數(shù)值計算原則，R1以10nm為間隔，從60nm掃描到700nm，記錄輸出的相位值，得到圓柱與離散化相位數(shù)據(jù)的映射關(guān)系； 當(dāng)亞波長結(jié)構(gòu)單元為圓孔柱時，lamda表示所述標準干涉儀發(fā)出檢測用的光線的波長，圓柱孔的外徑為R2，圓孔柱中心圓孔的直徑為r2，圓柱的折射率為g，入射光為平面波，圓孔柱的高度H2為lamdag-1，將R2和r2設(shè)為可變參數(shù)，lamda、g、H2作為恒定變量參數(shù)，帶入到麥克斯韋方程組中，輸出變量為相位，以時域有限差分法為近似數(shù)值計算原則，R2和r2均以10nm為間隔，從60nm掃描到700nm，記錄輸出的相位值，得到圓孔柱與離散化相位數(shù)據(jù)的映射關(guān)系。

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