常州艾恩希納米鍍膜科技有限公司馮磊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉常州艾恩希納米鍍膜科技有限公司申請的專利一種CVD襯底托盤結構獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223255427U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422117892.5，技術領域涉及：C23C16/458；該實用新型一種CVD襯底托盤結構是由馮磊設計研發完成，并于2024-08-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種CVD襯底托盤結構在說明書摘要公布了：本實用新型涉及CVD襯底托盤技術領域，且公開了一種CVD襯底托盤結構，加熱環圈嵌合安裝于安裝底座與導熱盤座之間，加熱臺座的下部與導熱盤座對位嵌合，頂部擋片嵌合安裝于安裝托盤的上部，在安裝托盤的上部設置有加熱臺座，加熱臺座與導熱盤座均采用良性導熱材質且通過對位嵌合結構安裝連接，通過加熱臺座與導熱盤座間的定點接觸傳導可將熱量集中傳導至晶片的上部，可實現對晶片的高效快速加熱，并且頂部擋片通過槽口嵌合安裝在安裝托盤的上部，通過頂部擋片可對安裝托盤上部的非鍍膜區域進行遮擋防護避免安裝托盤粘附污物，清潔時只需將頂部擋片拆卸取下即可完成托盤結構的清潔操作，相比于傳統的一體式托盤結構具有更好的清潔便利性。
本實用新型一種CVD襯底托盤結構在權利要求書中公布了：1.一種CVD襯底托盤結構，包括底座機構和托盤機構，其特征在于：所述底座機構設置于托盤機構的下部，所述底座機構包括安裝底座1、加熱環圈2和導熱盤座3，所述加熱環圈2嵌合安裝于安裝底座1與導熱盤座3之間； 所述托盤機構包括安裝托盤4、加熱臺座5和頂部擋片6，所述加熱臺座5設置有多個，所述加熱臺座5均勻安裝于安裝托盤4的上部，所述加熱臺座5的下部與導熱盤座3對位嵌合，所述頂部擋片6嵌合安裝于安裝托盤4的上部，所述頂部擋片6遮蔽安裝于安裝托盤4的非鍍膜區域。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人常州艾恩希納米鍍膜科技有限公司，其通訊地址為：213100 江蘇省常州市武進國家高新技術產業開發區龍惠路7號D棟北一樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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