上海新微技術研發中心有限公司陶文釗獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海新微技術研發中心有限公司申請的專利一種減薄機排水槽用晶圓碎屑清理鏟獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223250119U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422148036.6,技術領域涉及:B08B7/00;該實用新型一種減薄機排水槽用晶圓碎屑清理鏟是由陶文釗;尹勇設計研發完成,并于2024-09-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種減薄機排水槽用晶圓碎屑清理鏟在說明書摘要公布了:本實用新型涉及半導體精加工技術領域,尤其是一種減薄機排水槽用晶圓碎屑清理鏟。所述清理鏟包括鏟本體,所述鏟本體包括若干個透水通孔。所述清理鏟通過所述透水通孔將減薄機排水槽中的廢水和碎屑分離,讓流動廢水留在排水槽中隨廢水管道排出,實現更加便捷地保養減薄機,節約清潔、使用和管理成本。
本實用新型一種減薄機排水槽用晶圓碎屑清理鏟在權利要求書中公布了:1.一種減薄機排水槽用晶圓碎屑清理鏟,其特征在于,所述清理鏟包括鏟本體10,所述鏟本體10上設有若干個透水通孔11,所述透水通孔11的孔徑小于等于晶圓碎屑的最大粒徑。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人上海新微技術研發中心有限公司,其通訊地址為:201800 上海市嘉定區城北路235號1號樓;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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