至微半導體(上海)有限公司萬曉強獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉至微半導體(上海)有限公司申請的專利一種晶圓噴淋臂清洗裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223250025U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422394683.5，技術領域涉及：B08B3/02；該實用新型一種晶圓噴淋臂清洗裝置是由萬曉強;唐寶國;陳新來;沈一林設計研發完成，并于2024-09-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓噴淋臂清洗裝置在說明書摘要公布了：本實用新型提供一種晶圓噴淋臂清洗裝置，包括用于向下噴淋的噴淋件，所述噴淋件位于所述晶圓噴淋設備的晶圓支撐機構的上方，其噴淋范圍不超出所述晶圓支撐機構下方的液體分類回收排放機構的工作范圍。本實用新型晶圓噴淋臂清洗裝置可以對噴淋臂進行清洗，從而能夠及時地清洗掉兩者表面所附著的工藝液水霧。
本實用新型一種晶圓噴淋臂清洗裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓噴淋臂清洗裝置，其特征在于，包括用于向下噴淋的噴淋件，所述噴淋件位于所述晶圓噴淋設備的晶圓支撐機構的上方，其噴淋范圍不超出所述晶圓支撐機構下方的液體分類回收排放機構的工作范圍。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人至微半導體(上海)有限公司，其通訊地址為：200241 上海市閔行區紫海路170號1幢3層03室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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