臺灣積體電路制造股份有限公司楊基獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉臺灣積體電路制造股份有限公司申請的專利微影系統獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223260028U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422414479.5，技術領域涉及：G03F7/20；該實用新型微影系統是由楊基;葉柏遠;林哲信;尤仁傑;羅忠文設計研發完成，并于2024-10-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本微影系統在說明書摘要公布了：一種微影系統包含一光源及至少一個反射器。光源包括一液滴產生器、一儲液器、一監測組件及一收集器。儲液器與該液滴產生器流體連通。監測組件具有連接至該儲液器外部的至少兩個電極。收集器位于該液滴產生器下方。該反射器與該收集器光學耦合。
本實用新型微影系統在權利要求書中公布了：1.一種微影系統，其特征在于，包含： 一光源，包括： 一液滴產生器； 一儲液器，與該液滴產生器流體連通； 一監測組件，具有連接至該儲液器外部的至少兩個電極；及 一收集器，位于該液滴產生器下方；及 至少一個反射器，與該收集器光學耦合。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人臺灣積體電路制造股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市新竹科學工業園區力行六路八號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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