煜涵新材料(杭州)有限公司邵永杰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉煜涵新材料(杭州)有限公司申請的專利一種便于拆卸的晶圓研磨頭獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223251350U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422505907.5,技術領域涉及:B24B37/11;該實用新型一種便于拆卸的晶圓研磨頭是由邵永杰;回文剛;夏家奇設計研發完成,并于2024-10-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種便于拆卸的晶圓研磨頭在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種便于拆卸的晶圓研磨頭,包括研磨頭,所述研磨頭的頂部固定安裝有組合塊,所述組合塊的外側設置有安裝組件,所述安裝組件的頂部設置有固定組件,所述組合塊的內部開設有插槽,所述插槽的內部插接有齒條,所述齒條的外側端活動貫穿安裝槽與內部槽之間的側壁,所述轉軸固定安裝在安裝塊的頂部,本實用新型涉及晶圓研磨頭技術領域;該便于拆卸的晶圓研磨頭,通過內六角扳手并通過六角槽轉動螺桿,螺桿轉動帶動下方固定桿轉動,通過固定桿轉動可以帶動下方的齒輪轉動,從而可以實現多個齒條同步移動,從而實現了只需轉動一個螺桿即可實現對研磨頭的安裝,保證了安裝拆卸的方便性。
本實用新型一種便于拆卸的晶圓研磨頭在權利要求書中公布了:1.一種便于拆卸的晶圓研磨頭,包括研磨頭1,其特征在于:所述研磨頭1的頂部固定安裝有組合塊5,所述組合塊5的外側設置有安裝組件2,所述安裝組件2的頂部設置有固定組件3,所述安裝組件2的頂部設置有轉軸4,所述安裝組件2包括安裝塊21,所述安裝塊21的內部開設有內部槽22,所述安裝塊21的內部開設有安裝槽26,所述組合塊5插接在安裝槽26內部,所述組合塊5的內部開設有插槽25,所述插槽25的內部插接有齒條23,所述齒條23的外側端活動貫穿安裝槽26與內部槽22之間的側壁,所述轉軸4固定安裝在安裝塊21的頂部。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人煜涵新材料(杭州)有限公司,其通訊地址為:311201 浙江省杭州市蕭山區新塘街道東瑞四路318-38號2幢2層204-3室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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