南京寬能半導體有限公司謝慧青獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉南京寬能半導體有限公司申請的專利一種晶圓加工輔助夾具獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223273258U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202421548702.9,技術領域涉及:H01L21/687;該實用新型一種晶圓加工輔助夾具是由謝慧青;李宜哲;吳昱萱設計研發完成,并于2024-07-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓加工輔助夾具在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種晶圓加工輔助夾具,包括殼體,所述殼體的底部內壁固定連接有多個定位柱,多個定位柱之間活動連接有支撐板,支撐板的頂部設有夾持組件,所述定位柱的外側套接有彈簧,且彈簧的兩端分別與殼體和支撐板相固定,所述殼體的一側開設有圓槽,圓槽內活動連接有轉盤,轉盤的兩側均開設有卡槽,所述殼體的一側開設有滑槽,滑槽內活動連接有滑桿,所述滑桿的另一端固定連接有連接板。本實用新型不僅能夠便于工作人員對晶圓進行翻轉,節省了工作人員的時間,同時能夠通過第二卡塊對支撐板進行輔助支撐,還能夠通過擋環對支撐板移動的高度進行限制。
本實用新型一種晶圓加工輔助夾具在權利要求書中公布了:1.一種晶圓加工輔助夾具,包括殼體(8),其特征在于,所述殼體(8)的底部內壁固定連接有多個定位柱(9),多個定位柱(9)之間活動連接有支撐板(7),支撐板(7)的頂部設有夾持組件,所述定位柱(9)的外側套接有彈簧(10),且彈簧(10)的兩端分別與殼體(8)和支撐板(7)相固定,所述殼體(8)的一側開設有圓槽,圓槽內活動連接有轉盤(5),轉盤(5)的兩側均開設有卡槽(18),所述殼體(8)的一側開設有滑槽(17),滑槽(17)內活動連接有滑桿(15),所述滑桿(15)的另一端固定連接有連接板(13),連接板(13)的一側通過螺上固定有第一卡塊(12),且第一卡塊(12)與卡槽(18)相卡接,所述連接板(13)的內部活動連接有第二螺紋桿(14),且第二螺紋桿(14)與殼體(8)轉動連接,所述轉盤(5)的一側固定連接有兩個凸塊(6),且凸塊(6)與支撐板(7)相接觸。
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