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          中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)龍世兵老師一件發(fā)明專利完成成果轉(zhuǎn)化

          發(fā)表時(shí)間:2022年05月20日 來源:龍圖騰

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          龍圖騰網(wǎng)獲悉中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)申請(qǐng)的專利基于氧化鎵的PN結(jié)結(jié)構(gòu)及其制備方法成功實(shí)施成果轉(zhuǎn)化。

          龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2020-04-24發(fā)布的專利公告中獲悉:該專利的專利申請(qǐng)?zhí)?/span>/專利號(hào)為:2019112835387,技術(shù)領(lǐng)域?qū)儆贖01L29/861(20060101);該專利基于氧化鎵的PN結(jié)結(jié)構(gòu)及其制備方法是由中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2019-12-13向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

          本發(fā)明公開了一種基于氧化鎵的PN結(jié)結(jié)構(gòu),自上而下依次包括:第一電極層、p型層、n型層和襯底層,p型層和n型層相接觸形成PN結(jié);第一電極層為氧化物電極,p型層為p型氧化物層,n型層為n型氧化鎵基層。本發(fā)明公開的PN結(jié)結(jié)構(gòu)極大降低了PN結(jié)的反向漏電流,提高器件的擊穿電壓,以提升PN結(jié)的性能;同時(shí),采用氧化物電極分別與p型氧化物半導(dǎo)體、N型氧化物半導(dǎo)體形成歐姆接觸,進(jìn)一步降低全氧化物PN結(jié)的開啟電壓和導(dǎo)通電阻。此外,采用全氧化物(電極與半導(dǎo)體材料均是氧化物)的PN結(jié)結(jié)構(gòu)能夠避免與非氧化物材料在接觸界面處的氧化反應(yīng),有效降低界面態(tài)密度,從而更好地調(diào)節(jié)界面缺陷問題,提高器件性能的同時(shí)可易于實(shí)現(xiàn)大規(guī)模的工業(yè)制造。

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