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          電子科技大學杜江鋒老師一件發明專利完成成果轉化

          發表時間:2025年01月13日 來源:龍圖騰

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          龍圖騰網獲悉電子科技大學申請的專利一種具有復合柵介質層的氮化鎵基異質結場效應晶體管成功實施成果轉化。

          龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2015-01-21發布的專利公告中獲悉:該專利的專利申請號/專利號為:2014105347954,技術領域屬于H01L29/78(2006.01)I;該專利一種具有復合柵介質層的氮化鎵基異質結場效應晶體管是由電子科技大學設計研發完成,并于2014-10-11向國家知識產權局提交的專利申請。

          本發明公開了一種具有復合柵介質層的氮化鎵基異質結場效應晶體管,從下至上依次主要有襯底、氮化鎵緩沖層、氮化鎵溝道層、鋁鎵氮勢壘層以及復合柵介質層,在勢壘層上形成與其成歐姆接觸的源極、漏極以及成肖特基接觸的柵極,復合柵介質層由高低不同介電常數的柵介質層組成,由此在溝道層的柵介質層界面形成電場峰值,在電場峰值處存在電子漂移速度的峰值,使電子在溝道整體的漂移速度增加,同時低介電常數柵介質層使柵電容減小,使器件的頻率特性提升。

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