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龍圖騰網(wǎng)獲悉ASM IP私人控股有限公司申請的專利立式批處理爐組件獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112309935B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010729606.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)立式批處理爐組件是由J.弗盧特設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-07-27向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本立式批處理爐組件在說明書摘要公布了：用于處理晶片的立式批處理爐組件，其包括盒操縱空間、晶片操縱空間以及分隔盒操縱空間和晶片操縱空間的內(nèi)壁。盒操縱空間設(shè)置有盒存放器，其配置為存放多個晶片盒。盒操縱空間還設(shè)置有盒操縱器，其配置為在盒存放器和晶片傳送位置之間傳送晶片盒。所述晶片操縱空間設(shè)置有晶片操縱器，其配置為在晶片舟和晶片傳送位置中的晶片盒之間傳送晶片。所述內(nèi)壁在晶片傳送位置處附近設(shè)置有用于晶片盒的晶片傳送開口，晶片被傳送至晶片盒或從晶片盒傳出。盒存放器包括直徑在1.1至1.6米之間的盒存放轉(zhuǎn)盤。

本發(fā)明授權(quán)立式批處理爐組件在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于處理晶片的立式批處理爐組件10，包括： 盒操縱空間26，設(shè)置有盒存放器和盒操縱器28，所述盒存放器配置為存放設(shè)置有多個晶片的多個晶片盒16，所述盒操縱器28配置為在盒存放器和晶片傳送位置24之間傳送晶片盒16； 晶片操縱空間30，所述晶片操縱空間包括矩形形狀，并設(shè)置有晶片操縱器32，所述晶片操縱器32配置為在晶片傳送位置24中的晶片盒16和晶片舟傳送位置34中的晶片舟12之間傳送晶片； 內(nèi)壁20，其將盒操縱空間26和晶片操縱空間30分隔，并且在晶片傳送位置24附近設(shè)置有用于晶片盒16的晶片傳送開口22，晶片被傳送至晶片盒16或從晶片盒16傳出，其中，所述盒存放器包括直徑在1.1至1.6米之間的盒存放轉(zhuǎn)盤18, 第一處理室，用于處理容納在晶片舟內(nèi)的晶片； 第二處理室，用于處理容納在晶片舟內(nèi)的晶片；以及 單個晶片舟操縱裝置，其包括一個可旋轉(zhuǎn)臺，所述可旋轉(zhuǎn)臺具有多個晶片舟支撐表面，每個晶片舟支撐表面配置為支撐晶片舟，其中，所述可旋轉(zhuǎn)臺由致動器圍繞基本豎直的中心軸線旋轉(zhuǎn)，以將每個晶片舟支撐表面?zhèn)魉偷剑?第一晶片舟裝載接收位置，在該第一晶片舟裝載接收位置，晶片舟操縱裝置被構(gòu)造成從可旋轉(zhuǎn)臺豎直地裝載晶片舟到第一處理室內(nèi)和從第一處理室接收晶片舟到可旋轉(zhuǎn)臺上；以及 第二晶片舟裝載接收位置，在該第二晶片舟裝載接收位置，晶片舟操縱裝置被構(gòu)造成從可旋轉(zhuǎn)臺豎直地裝載晶片舟到第二處理室內(nèi)和從第二處理室接收晶片舟到可旋轉(zhuǎn)臺上， 其中所述盒存放轉(zhuǎn)盤包括被配置成容納5個或更多個晶片盒的平臺級， 其中，所述立式批處理爐組件設(shè)置有矩形的覆蓋區(qū)，所述覆蓋區(qū)具有兩個相對的短邊限定所述立式批處理爐組件10的寬度36，并且具有兩個相對的長邊限定所述立式批處理爐組件10的長度38，其中所述立式批處理爐組件10的寬度36為1.65米或更小，且 其中，所述盒操縱器設(shè)置有可樞轉(zhuǎn)的盒操縱器臂和升降機(jī)構(gòu)，所述可樞轉(zhuǎn)的盒操縱器臂被配置成到達(dá)在盒存放器內(nèi)的不同豎直高度處的晶片盒，且 其中所述盒存放轉(zhuǎn)盤設(shè)置在升降機(jī)構(gòu)和內(nèi)壁之間，在跨在兩個相對短邊之間的方向上，升降機(jī)構(gòu)和盒存放轉(zhuǎn)盤之間沒有重疊。

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