細美事有限公司林俊鉉獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉細美事有限公司申請的專利后噴嘴單元及包括后噴嘴單元的基板處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114695171B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110879710.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權后噴嘴單元及包括后噴嘴單元的基板處理裝置是由林俊鉉;全倫奭;宋吉勛;姜準基設計研發完成，并于2021-08-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本后噴嘴單元及包括后噴嘴單元的基板處理裝置在說明書摘要公布了：基板處理裝置可具有包括對基板執行所需工程的至少一個工程腔室的處理模塊及將所述基板從外部移送到所述處理模塊的轉位模塊。所述至少一個工程腔室可包括上部被放置基板的支撐單元及配置在所述基板的底面下方的后噴嘴單元。所述后噴嘴單元可包括裙座、向所述基板的底面上供應清洗液的至少一個后噴嘴及向所述基板的底面上供應氣體的氣體噴嘴。所述裙座可包括本體及形成于所述本體內且向所述基板的底面供應氣體的多個第一流道及多個第二流道。
本發明授權后噴嘴單元及包括后噴嘴單元的基板處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種后噴嘴單元，其特征在于，包括： 裙座，配置在基板的底面的下方； 至少一個后噴嘴，從所述裙座凸出，并且向所述基板的底面上供應清洗液；以及 氣體噴嘴，從所述裙座凸出，向所述基板的底面上供應氣體， 其中，所述裙座具有： 本體； 多個第一流道，形成于所述本體內且沿與所述基板的底面平行的方向供應氣體；以及 多個第二流道，形成于所述本體內且以預定的傾斜角度向所述基板的底面上供應所述氣體， 所述多個第一流道分別在所述本體內向上方形成，在所述本體內向下方彎折，向相對于所述基板的底面平行的方向延伸， 所述多個第一流道和多個第二流道在所述至少一個后噴嘴向所述基板的底面上供應所述清洗液期間和或向所述基板的底面上供應所述清洗液后供應所述氣體，使得沿著所述裙座的所述本體的表面流下來的所述清洗液重新向所述基板的底面供應。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人細美事有限公司，其通訊地址為：韓國忠清南道天安市；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
以上內容由AI智能生成
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號