韓華株式會社鄭亞凜獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉韓華株式會社申請的專利晶舟裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114203602B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110894775.8，技術領域涉及：H01L21/673；該發明授權晶舟裝置是由鄭亞凜;林在镕;韓鐘國;樸相泰;金永冀;崔鐘圣;金京民;張宰渙;李在澈;李奎范設計研發完成，并于2021-08-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶舟裝置在說明書摘要公布了：本發明可以提供一種晶舟裝置，包括：板部，包括彼此相鄰的第1板以及第2板，用于在上述各個板之間的空隙中拆裝基板；扣緊部件，用于對上述板部進行貫通結合；以及，絕緣部，結合到上述扣緊部件，用于維持上述各個板之間的間隔；在上述絕緣部中，為了避免在上述基板上沉積薄膜時在板之間形成電流而對薄膜進行阻斷的間隙。
本發明授權晶舟裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶舟裝置，其特征在于，包括： 電極板，包括以彼此相距一定間隔的方式配備的多個板，在多個上述板之間對基板進行拆裝； 扣緊部件，對上述電極板進行貫通結合；以及， 絕緣部，在多個上述板中的彼此相鄰的板之間結合到上述扣緊部件的外部； 借此，在上述基板上沉積薄膜時防止在板之間形成通電， 其中，多個上述板在上述扣緊部件的外周面上沿著長度方向配備，并且不同極性的電力施加到多個上述板中的彼此相鄰的板， 上述絕緣部包括插入到上述扣緊部件的外周面的第1絕緣部以及以與上述第1絕緣部形成間隙的方式與上述第1絕緣部結合的第2絕緣部。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人韓華株式會社，其通訊地址為：韓國首爾特別市；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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