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龍圖騰網(wǎng)獲悉南京理工大學(xué)申請(qǐng)的專(zhuān)利斐索干涉儀球面和平面測(cè)量中回程誤差的迭代修正方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115711575B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202211380550.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B9/02055；該發(fā)明授權(quán)斐索干涉儀球面和平面測(cè)量中回程誤差的迭代修正方法是由鄭東暉;胡晨輝;陳磊;錢(qián)月;張喆;馬致遙;李若琨設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-11-04向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本斐索干涉儀球面和平面測(cè)量中回程誤差的迭代修正方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種斐索干涉儀球面和平面測(cè)量中回程誤差的迭代修正方法，該方法為：首先根據(jù)被測(cè)件種類(lèi)確定回程誤差的階數(shù)，判斷敏感因子矩陣數(shù)q；改變q次被測(cè)件的姿態(tài)，并測(cè)量每次相位結(jié)果；然后根據(jù)測(cè)量相位結(jié)果計(jì)算結(jié)果中的傾斜量，代入方程組中計(jì)算各個(gè)敏感因子矩陣以及校正后相位；接著根據(jù)校正后的相位計(jì)算x、y方向上的面形導(dǎo)致局部?jī)A斜量，并更新傾斜量，重新代入方程組計(jì)算各個(gè)敏感因子矩陣以及校正后相位；重復(fù)上述過(guò)程直至迭代收斂，得到敏感因子矩陣以及校正后相位結(jié)果。本發(fā)明可以校正斐索干涉儀在球面和平面測(cè)量中由于非零位測(cè)量導(dǎo)致的回程誤差，無(wú)需對(duì)干涉儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行建模，簡(jiǎn)單高效，適用范圍廣。

本發(fā)明授權(quán)斐索干涉儀球面和平面測(cè)量中回程誤差的迭代修正方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種斐索干涉儀球面和平面測(cè)量中回程誤差的迭代修正方法，其特征在于，包括以下步驟： 步驟1、根據(jù)被測(cè)件種類(lèi)確定回程誤差的階數(shù)，判斷敏感因子矩陣數(shù)q； 步驟2、改變被測(cè)件的姿態(tài)，重復(fù)3q次，得到3q次測(cè)量結(jié)果，然后根據(jù)測(cè)量的3q次相位數(shù)據(jù)計(jì)算每一個(gè)結(jié)果中的對(duì)應(yīng)的傾斜角度； 步驟3、將傾斜角度代入敏感因子線性方程組中，計(jì)算對(duì)應(yīng)的敏感因子矩陣以及校正相位結(jié)果； 步驟4、根據(jù)計(jì)算的相位結(jié)果，計(jì)算局部面形導(dǎo)致的傾斜角度，然后更新傾斜角度，重新代入敏感因子線性方程組中，計(jì)算新的敏感因子矩陣以及校正相位； 步驟5、根據(jù)計(jì)算前后的相位結(jié)果得到收斂判定函數(shù)值，若不滿(mǎn)足收斂閾值則繼續(xù)步驟4，否則結(jié)束迭代循環(huán)，輸出回程誤差校正后結(jié)果以及對(duì)應(yīng)的敏感因子矩陣； 步驟1所述的根據(jù)被測(cè)件種類(lèi)確定回程誤差的階數(shù)，判斷敏感因子矩陣數(shù)q，具體如下： 在平面測(cè)量中，敏感因子矩陣數(shù)q＝1；在球面測(cè)量中，敏感因子矩陣數(shù)q＝2； 在平面測(cè)量中，敏感因子矩陣數(shù)q＝1；在球面測(cè)量中，敏感因子矩陣數(shù)q＝2，具體如下： 在平面測(cè)量中，回程誤差是由于被測(cè)件傾斜角度所導(dǎo)致的波前誤差，因此有： 式中，Wρ,θ,x0為波前量，ΔWn為干涉儀中準(zhǔn)直光束波前，x0為波前坐標(biāo)量，Δx為x方向的偏移量，W222為像散系數(shù)，ρ為極坐標(biāo)下對(duì)應(yīng)極徑，θ為極坐標(biāo)下的極角，W131為彗差系數(shù)，W220為場(chǎng)曲系數(shù)，W311為畸變系數(shù)； 根據(jù)式1，被測(cè)件傾斜角度引入的波前誤差與成像點(diǎn)位置的視場(chǎng)角近似成線性關(guān)系，因此平面測(cè)量中的回程誤差是干涉儀內(nèi)部光學(xué)元件對(duì)于傾斜光束引入的額外像差所導(dǎo)致的，不同像差與被測(cè)件傾斜角度成線性關(guān)系，敏感因子矩陣數(shù)q＝1； 在球面測(cè)量中，回程誤差還包括由于參考件和測(cè)試件反射光束光程不一致所導(dǎo)致的回程誤差，因此有： OPD≈α2R1ρ+1ρ2其中，OPD為參考件和測(cè)試件反射光束光程不一致所導(dǎo)致的回程誤差，α為測(cè)試波前傾斜角度，R1為參考球面透鏡半徑，R2為測(cè)試球面鏡半徑，ρ＝R2R1； 因此，在球面測(cè)量中，回程誤差不僅和被測(cè)件的半徑相關(guān)，同時(shí)還和波前傾斜角度的平方近似成線性關(guān)系，敏感因子矩陣數(shù)q＝2。

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