天合光能股份有限公司朱明光獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉天合光能股份有限公司申請的專利一種激光摻雜系統獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223379536U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422810423.1,技術領域涉及:H10F71/00;該實用新型一種激光摻雜系統是由朱明光;王子港;吳魁藝;劉仲雨設計研發完成,并于2024-11-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種激光摻雜系統在說明書摘要公布了:本實用新型揭示了一種激光摻雜系統,包括通過第一傳送單元相連接的印刷組件和激光分光摻雜組件以及多個支架,經過印刷組件完成印刷的硅基底經第一傳送單元傳輸進入激光分光摻雜組件進行兩次激光處理;采用一個激光器并進行分光處理,以獲得至少兩束不同波長的光線,通過兩個激光發射裝置導向第一工作位置和第二工作位置,硅基底在轉運單元上實現工作位置的變化,依次進行兩次激光處理。本實施例中提供的激光摻雜系統能夠通過精確的定位、靈活的分光摻雜裝置、高效的傳輸機制以及精確的分光控制,實現高效率、高質量的半導體生產,同時具備良好的擴展性和實用性。
本實用新型一種激光摻雜系統在權利要求書中公布了:1.一種激光摻雜系統,其特征在于,包括:通過第一傳送單元相連接的印刷組件和激光分光摻雜組件以及多個支架; 所述印刷組件用于對硅基底進行印刷; 所述支架架設在所述激光分光摻雜組件上; 所述激光分光摻雜組件包括轉運單元和設置在所述支架上的激光分光單元,所述轉運單元與所述第一傳送單元相對接,且位于所述激光分光單元的下方; 所述激光分光單元包括激光器、具有至少兩個輸出端的分光裝置以及與所述分光裝置的輸出端一一對應的激光發射裝置,所述激光器發出的光束經過所述分光裝置的輸出端分別到達所述激光發射裝置,所述激光發射裝置包括垂直于所述轉運單元的第一激光發射裝置和第二激光發射裝置。
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