深圳新聲半導體有限公司王友良獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳新聲半導體有限公司申請的專利集成式體聲波濾波器的制作方法及集成式體聲波濾波器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120377852B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510865256.7,技術領域涉及:H03H3/02;該發明授權集成式體聲波濾波器的制作方法及集成式體聲波濾波器是由王友良;胡威威;馮端;鄒潔;劉藤;肖樹根設計研發完成,并于2025-06-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本集成式體聲波濾波器的制作方法及集成式體聲波濾波器在說明書摘要公布了:本申請公開了一種集成式體聲波濾波器的制作方法及集成式體聲波濾波器,包括:制作第一襯底;在第一襯底上形成多個體聲波濾波器,具體步驟包括:在第一襯底上形成至少一個混合層,其中至少一個混合層包括刻蝕有多個第一區域的第一犧牲層以及沉積于各個第一區域內的第一上電極層,并且其中第一犧牲層的厚度與多個體聲波濾波器的諧振頻率差值對應,第一上電極層的厚度與第一犧牲層的厚度相同;以及在至少一個混合層上沉積第二上電極層,并形成多個體聲波濾波器,其中第二上電極層的厚度與多個體聲波濾波器中的諧振頻率最小值對應,并且至少一個混合層和第二上電極層的數量之和與多個體聲波濾波器的數量對應。達到了具有不同的工作頻率的技術效果。
本發明授權集成式體聲波濾波器的制作方法及集成式體聲波濾波器在權利要求書中公布了:1.一種集成式體聲波濾波器的制作方法,其特征在于,包括: 制作第一襯底(110); 在所述第一襯底(110)上形成多個體聲波濾波器,具體步驟包括: 在所述第一襯底(110)上形成至少一個混合層(120),其中所述混合層(120)包括刻蝕有多個第一區域(1211)的第一犧牲層(121)以及沉積于各個第一區域(1211)內的第一上電極層(122),其中所述第一犧牲層(121)和所述第一上電極層(122)水平設置,并且其中所述第一犧牲層(121)的厚度與所述多個體聲波濾波器的諧振頻率差值對應,所述第一上電極層(122)的厚度與所述第一犧牲層(121)的厚度相同;以及 在所述至少一個混合層(120)上沉積第二上電極層(130),并形成所述多個體聲波濾波器,其中所述第二上電極層(130)的厚度與所述多個體聲波濾波器中的諧振頻率最小值對應,并且所述至少一個混合層(120)和所述第二上電極層(130)的數量之和與所述多個體聲波濾波器的數量對應。
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