芯恩(青島)集成電路有限公司賈禮賓獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉芯恩(青島)集成電路有限公司申請的專利一種離子注入裝置及離子注入角度調控方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115497788B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110678029.5，技術領域涉及：H01J37/02；該發明授權一種離子注入裝置及離子注入角度調控方法是由賈禮賓;孟昭生;季明華;賈玉杰設計研發完成，并于2021-06-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種離子注入裝置及離子注入角度調控方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種離子注入裝置及離子注入角度調控方法，該離子注入裝置包括離子束源、靶盤、輪盤、數控液壓桿及數據處理模塊，其中所述離子束源用于產生離子束；所述靶盤用于承載晶圓，且所述靶盤上設置有用于發射激光信號的激光發射器；所述輪盤上設置有用于支撐所述靶盤的支架及用于接收所述激光發射器發出的激光信號的激光信號接收器；所述數控液壓桿與所述支架間隔設置，用于調控所述靶盤與所述輪盤之間角度；所述數據處理模塊用于接收所述激光信號接收器的反饋信號及發送調控所述數控液壓桿的指令。本發明實現了對離子注入角度的實時監控與動態調控，有效的避免了錐角效應。
本發明授權一種離子注入裝置及離子注入角度調控方法在權利要求書中公布了：1.一種離子注入裝置，其特征在于，包括： 離子束源，用于產生離子束； 靶盤，用于承載晶圓，所述靶盤上設置有用于發射激光信號的激光發射器，所述激光發射器發射出的激光束與所述靶盤的下表面平行； 輪盤，所述輪盤上設置有用于支撐所述靶盤的支架及用于接收所述激光信號的激光信號接收器； 數控液壓桿，與所述支架間隔設置，所述數控液壓桿的兩端分別與所述靶盤及所述輪盤連接以調節所述靶盤與所述輪盤之間的夾角，所述激光信號接收器的激光接收面垂直于所述輪盤，所述激光信號接收器與所述支架間隔第一預設距離； 數據處理模塊，用于接收所述激光信號接收器的反饋信號、計算所述靶盤與所述離子束之間的夾角及發送調控所述數控液壓桿的指令。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人芯恩(青島)集成電路有限公司，其通訊地址為：266000 山東省青島市黃島區太白山路19號德國企業南區401；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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