東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社中山博之獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利檢查裝置和檢查裝置的控制方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113948417B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110774058.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)檢查裝置和檢查裝置的控制方法是由中山博之設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-07-08向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本檢查裝置和檢查裝置的控制方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種提高被檢查體的溫度均勻性的檢查裝置和檢查裝置的控制方法。本發(fā)明的檢查裝置包括：用于載置具有被檢查體的基板的載置臺(tái)；具有對(duì)所述被檢查體供給電流的探針的探針卡；照射光來加熱所述基板的光照射機(jī)構(gòu)；和所述控制部執(zhí)行如下步驟：利用來自所述光照射機(jī)構(gòu)的光均勻地加熱所述被檢查體的步驟；和利用來自所述光照射機(jī)構(gòu)的光加熱所述被檢查體的外周部的步驟。
本發(fā)明授權(quán)檢查裝置和檢查裝置的控制方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種檢查裝置，其特征在于，包括： 用于載置具有被檢查體的基板的載置臺(tái)； 具有對(duì)所述被檢查體供給電流的探針的探針卡； 通過照射光來加熱所述基板的光照射機(jī)構(gòu)；和 控制所述光照射機(jī)構(gòu)的控制部， 所述控制部執(zhí)行如下步驟： 利用來自所述光照射機(jī)構(gòu)的光均勻地加熱所述被檢查體的第1照射工序；和 向第2照射工序切換的切換工序，所述第2照射工序利用來自所述光照射機(jī)構(gòu)的光使包含所述被檢查體的外周部的加熱量大于包含所述被檢查體的中心部分的加熱量。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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