極光先進雷射株式會社星野裕大獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉極光先進雷射株式會社申請的專利極紫外光生成裝置和電子器件的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114265285B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110880235.4，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權極紫外光生成裝置和電子器件的制造方法是由星野裕大;渡邊幸雄;西坂敏博;植田篤;神家幸一郎;小山內貴幸;新美剛太設計研發完成，并于2021-08-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本極紫外光生成裝置和電子器件的制造方法在說明書摘要公布了：本發明提供極紫外光生成裝置和電子器件的制造方法。極紫外光生成裝置具有：腔；第1分隔壁，其覆蓋腔的內部的等離子體生成區域，并具有第1開口；EUV聚光鏡，其位于腔的內部且第1分隔壁的外部的第1空間，使在等離子體生成區域產生且通過第1開口后的極紫外光聚光；第1氣體供給口，其被形成于腔，向第1空間供給氣體；以及氣體排放口，其被形成于第1分隔壁，將第1分隔壁的內部的第2空間的氣體排放到第1分隔壁的外部且腔的外部。
本發明授權極紫外光生成裝置和電子器件的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種極紫外光生成裝置，其具有： 腔； 第1分隔壁，其覆蓋所述腔的內部的等離子體生成區域，并具有第1開口； EUV聚光鏡，其位于所述腔的內部且所述第1分隔壁的外部的第1空間，使在所述等離子體生成區域產生且通過所述第1開口后的極紫外光聚光； 第1氣體供給口，其被形成于所述腔，向所述第1空間供給氣體；以及 氣體排放口，其被形成于所述第1分隔壁，將所述第1分隔壁的內部的第2空間的氣體排放到所述第1分隔壁的外部且所述腔的外部。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人極光先進雷射株式會社，其通訊地址為：日本栃木縣；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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