東京毅力科創株式會社新藤健弘獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利控制方法和基片輸送系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114203605B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111042397.7，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權控制方法和基片輸送系統是由新藤健弘設計研發完成，并于2021-09-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本控制方法和基片輸送系統在說明書摘要公布了：本發明提供能夠提高輸送精度的基片輸送系統的控制方法和基片輸送系統。本發明的控制方法是具有保持基片的保持部且能夠輸送上述基片的輸送機構的控制方法，其包括：檢測由上述輸送機構輸送的上述基片的外緣，使用預先設定的與輸送上述基片的路徑對應的調整值來測量上述基片的中心位置的步驟；基于上述基片的中心位置與預先設定的上述保持部的基準位置的偏移量，來修正目標位置的步驟；和控制上述輸送機構，以使上述保持部的基準位置成為修正后的上述目標位置的步驟。
本發明授權控制方法和基片輸送系統在權利要求書中公布了：1.一種控制方法，其特征在于： 所述控制方法是具有保持基片的保持部且能夠輸送所述基片的輸送機構的控制方法， 所述保持部具有比所保持的所述基片突出的突出部， 所述控制方法包括： 在利用所述輸送機構輸送所述基片時，在位于輸送至目標位置的路徑上的測量位置處用測量部檢測所述突出部的外緣，來測量所述保持部的基準位置，并且在所述測量位置處用測量部檢測所述基片的外緣，使用預先設定的與輸送所述基片的路徑對應的調整值來測量所述基片的中心位置的步驟； 基于所述基片的中心位置與預先設定的所述保持部的基準位置的偏移量，來修正所述目標位置的步驟；和 控制所述輸送機構，以使所述保持部的基準位置成為修正后的所述目標位置的步驟。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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