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龍圖騰網(wǎng)獲悉科磊股份有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利用于在基于圖像的疊加計(jì)量中確定目標(biāo)特征焦點(diǎn)的系統(tǒng)及方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN118225804B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202410326042.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N21/956；該發(fā)明授權(quán)用于在基于圖像的疊加計(jì)量中確定目標(biāo)特征焦點(diǎn)的系統(tǒng)及方法是由E·拉維特;A·瑪納森;Y·西蒙;D·桑科;A·薩夫蘭尼設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-09-21向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本用于在基于圖像的疊加計(jì)量中確定目標(biāo)特征焦點(diǎn)的系統(tǒng)及方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本公開(kāi)涉及用于在基于圖像的疊加計(jì)量中確定目標(biāo)特征焦點(diǎn)的系統(tǒng)及方法。一種計(jì)量系統(tǒng)包含通信地耦合到控制器的一或多個(gè)離焦成像計(jì)量子系統(tǒng)，所述控制器具有經(jīng)配置以接收在一或多個(gè)焦點(diǎn)位置處捕獲的多個(gè)訓(xùn)練圖像的一或多個(gè)處理器。所述一或多個(gè)處理器可基于所述多個(gè)訓(xùn)練圖像產(chǎn)生機(jī)器學(xué)習(xí)分類(lèi)器。所述一或多個(gè)處理器可接收針對(duì)一或多個(gè)目標(biāo)疊加測(cè)量的對(duì)應(yīng)于一或多個(gè)目標(biāo)特征的一或多個(gè)目標(biāo)特征選擇。所述一或多個(gè)處理器可使用所述機(jī)器學(xué)習(xí)分類(lèi)器來(lái)基于所述一或多個(gè)目標(biāo)特征選擇確定一或多個(gè)目標(biāo)焦點(diǎn)位置。

本發(fā)明授權(quán)用于在基于圖像的疊加計(jì)量中確定目標(biāo)特征焦點(diǎn)的系統(tǒng)及方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種計(jì)量系統(tǒng)，其包括： 控制器，其通信地耦合到一或多個(gè)離焦成像計(jì)量子系統(tǒng)，其中所述控制器包含經(jīng)配置以執(zhí)行存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器中的程序指令集的一或多個(gè)處理器，且其中所述程序指令集經(jīng)配置以致使所述一或多個(gè)處理器： 接收在一或多個(gè)焦點(diǎn)位置處捕獲的多個(gè)訓(xùn)練圖像，其中所述一或多個(gè)焦點(diǎn)位置包括在焦點(diǎn)訓(xùn)練范圍內(nèi)的多個(gè)焦點(diǎn)位置，所述多個(gè)訓(xùn)練圖像中的一或多者包含在對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)焦點(diǎn)位置的多個(gè)深度處捕獲的訓(xùn)練樣品的一或多個(gè)訓(xùn)練特征； 基于在所述一或多個(gè)焦點(diǎn)位置處捕獲的所述多個(gè)訓(xùn)練圖像產(chǎn)生機(jī)器學(xué)習(xí)分類(lèi)器； 接收針對(duì)一或多個(gè)目標(biāo)疊加測(cè)量的對(duì)應(yīng)于目標(biāo)樣品的一或多個(gè)目標(biāo)特征的一或多個(gè)目標(biāo)特征選擇； 使用所述機(jī)器學(xué)習(xí)分類(lèi)器來(lái)基于所述一或多個(gè)目標(biāo)特征選擇確定一或多個(gè)目標(biāo)焦點(diǎn)位置； 接收在所述一或多個(gè)目標(biāo)焦點(diǎn)位置處捕獲的一或多個(gè)目標(biāo)圖像，所述一或多個(gè)目標(biāo)圖像包含所述目標(biāo)樣品的所述一或多個(gè)目標(biāo)特征；及 基于所述一或多個(gè)目標(biāo)圖像確定一或多個(gè)疊加測(cè)量。

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