拓荊科技股份有限公司郭月獲國家專利權(quán)
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！
龍圖騰網(wǎng)獲悉拓荊科技股份有限公司申請的專利支撐柱、支撐盤及更換支撐柱的方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114300410B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111659994.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)支撐柱、支撐盤及更換支撐柱的方法是由郭月;姜崴設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-12-30向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本支撐柱、支撐盤及更換支撐柱的方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種用于支撐晶圓的支撐柱，包含：一柱體及一抵抗部。抵抗部延伸于所述柱體的周圍表面的外側(cè)，藉此當(dāng)所述支撐柱被放入晶圓支撐盤的孔時，所述抵抗部與孔壁產(chǎn)生摩擦力，將所述支撐柱穩(wěn)固容置于孔中。本發(fā)明還提供了一種支撐盤和更換支撐柱的方法。
本發(fā)明授權(quán)支撐柱、支撐盤及更換支撐柱的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種支撐柱，用于支撐晶圓的底部，其特征在于，包含：一柱體，具有一頂部、一底部及一周圍表面，其中，所述柱體還具有一溝槽，用于部分容置一抵抗部，所述溝槽為一環(huán)形溝槽，延伸于所述柱體的周圍表面；及所述抵抗部，延伸于所述柱體的周圍表面的外側(cè)，其中，所述抵抗部具有一對露出臂，自所述溝槽沿著所述支撐柱的周圍表面延伸并貼合所述支撐柱的周圍表面，藉此當(dāng)所述支撐柱被放入一晶圓支撐盤的盲孔時，所述抵抗部與孔壁產(chǎn)生摩擦力，將所述支撐柱穩(wěn)固容置于所述盲孔中，所述一對所述露出臂的自由端形成有鉤狀結(jié)構(gòu)，作為一更換手段的配合結(jié)構(gòu)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人拓荊科技股份有限公司，其通訊地址為：110171 遼寧省沈陽市渾南區(qū)水家900號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
以上內(nèi)容由AI智能生成
免責(zé)聲明
1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
相關(guān)閱讀
熱門推薦
- 京東數(shù)字科技控股有限公司付立獲國家專利權(quán)
- 達(dá)薩瑪治療公司R·O·休斯獲國家專利權(quán)
- 曼·胡默爾有限公司M·V·喬治蒂馬孔德斯獲國家專利權(quán)
- 余姚市亞東塑業(yè)有限公司胡繼宗獲國家專利權(quán)
- 瑞昱半導(dǎo)體股份有限公司孫再強(qiáng)獲國家專利權(quán)
- 興鋒閥門有限公司盧禮生獲國家專利權(quán)
- 俊富生態(tài)修復(fù)科技有限公司趙民忠獲國家專利權(quán)
- 松下電器(美國)知識產(chǎn)權(quán)公司海上勇二獲國家專利權(quán)
- 佳能株式會社山本武獲國家專利權(quán)
- 托塔克納米纖維有限公司L·伊斯曼獲國家專利權(quán)
開放平臺
擔(dān)保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數(shù)據(jù)共享
功能齊全
皖公網(wǎng)安備 34010402703815號