拓荊科技股份有限公司李慧獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉拓荊科技股份有限公司申請的專利具有晶圓校準功能的負載室、半導體處理系統及對晶圓進行校準的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115223910B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210882507.9，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權具有晶圓校準功能的負載室、半導體處理系統及對晶圓進行校準的方法是由李慧設計研發完成，并于2022-07-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本具有晶圓校準功能的負載室、半導體處理系統及對晶圓進行校準的方法在說明書摘要公布了：本申請涉及具有晶圓校準功能的負載室、半導體處理系統及對晶圓進行校準的方法。在本申請的一個實施例中，一種具有晶圓校準功能的負載室包括：腔室本體；晶圓支撐裝置，其位于所述腔室本體內，并用于支撐晶圓；以及晶圓定位裝置，其位于所述腔室本體內，并用于對由所述晶圓支撐裝置所支撐的晶圓進行定位。
本發明授權具有晶圓校準功能的負載室、半導體處理系統及對晶圓進行校準的方法在權利要求書中公布了：1.一種具有晶圓校準功能的負載室100，其包括： 腔室本體1； 晶圓支撐裝置2，其位于所述腔室本體1內，并用于支撐晶圓；以及 晶圓定位裝置3，其位于所述腔室本體1內，并用于對由所述晶圓支撐裝置2所支撐的晶圓進行定位； 其中，所述晶圓定位裝置3包括用于將晶圓夾持在所需位置的夾持裝置；所述夾持裝置包括至少一對擋塊31，所述至少一對擋塊31中的每對擋塊31對稱地設置于所述晶圓支撐裝置2的相對的兩側；所述晶圓定位裝置3還包括用于調節所述至少一對擋塊31中的每對擋塊31之間的距離的調節裝置； 其中，所述晶圓支撐裝置2包括固定盤，所述晶圓定位裝置3設置在所述固定盤上。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人拓荊科技股份有限公司，其通訊地址為：110171 遼寧省沈陽市渾南區水家900號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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