上海華虹宏力半導體制造有限公司鄒芳獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海華虹宏力半導體制造有限公司申請的專利掩膜板的確定方法、裝置、存儲介質電子設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115509092B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211147737.7,技術領域涉及:G03F7/20;該發明授權掩膜板的確定方法、裝置、存儲介質電子設備是由鄒芳設計研發完成,并于2022-09-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本掩膜板的確定方法、裝置、存儲介質電子設備在說明書摘要公布了:一種掩膜板的確定方法、裝置、存儲介質及電子設備。所述方法包括:獲取待生產產品的原始版圖數據;對所述原始版圖數據的圖形進行識別;基于圖形識別結果進行第一邏輯運算,確定所述待生產產品中包含的器件類型,得到器件輔助數據;基于所述器件輔助數據,輸出與生產所述待生產產品所需器件相關的掩膜板標識。采用上述方案,可以提高確定半導體產品所需掩膜板的效率,縮短半導體產品的生產周期。
本發明授權掩膜板的確定方法、裝置、存儲介質電子設備在權利要求書中公布了:1.一種掩膜板的確定方法,其特征在于,包括: 獲取待生產產品的原始版圖數據; 對所述原始版圖數據的圖形進行識別; 基于圖形識別結果進行第一邏輯運算,確定所述待生產產品中包含的器件類型,得到器件輔助數據; 基于所述器件輔助數據,輸出與生產所述待生產產品所需器件相關的掩膜板標識; 基于圖形識別結果進行第一邏輯運算,確定所述待生產產品中包含的器件類型,得到器件輔助數據,包括:利用布爾運算方法,對識別出的圖形進行第一邏輯運算,確定所述待生產產品中包含的器件類型;將各所述器件類型對應的圖形分別輸出至不同的預設圖層,形成器件輔助數據; 所述器件類型包括:高閾值電壓管、正常閾值電壓管、低閾值電壓管、超高閾值電壓管及超低閾值電壓管; 所述利用布爾運算方法,對識別出的圖形進行第一邏輯運算,確定所述待生產產品中包含的器件類型,包括:識別所述原始版圖數據中的柵極區域、高閾值電壓區域、低閾值電壓區域及超電壓區域;將所述柵極區域與高閾值電壓區域交集處的區域,作為第一區域,所述第一區域對應的器件類型為高閾值和超高閾值電壓管;將所述低閾值電壓區域中除超電壓區域外的區域,與所述柵極區域交集處的區域,作為第二區域,所述第二區域對應的器件類型為低閾值電壓管;將所述低閾值電壓區域、超電壓區域及柵極區域交集處的區域,作為第三區域,所述第三區域對應的器件類型為超低閾值電壓管;將所述柵極區域中除所述第一區域、第二區域及第三區域外的區域,作為第四區域,所述第四區域對應的器件類型為正常閾值電壓管。
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