上海精積微半導體技術有限公司顧駿獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海精積微半導體技術有限公司申請的專利用于成像系統中圖像采集的控制方法及晶圓缺陷檢測設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115714905B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211177922.0，技術領域涉及：H04N23/60；該發明授權用于成像系統中圖像采集的控制方法及晶圓缺陷檢測設備是由顧駿;顏洪雷設計研發完成，并于2022-09-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于成像系統中圖像采集的控制方法及晶圓缺陷檢測設備在說明書摘要公布了：本發明涉及一種用于成像系統中圖像采集的控制方法及晶圓缺陷檢測設備，該用于成像系統中圖像采集的控制方法包括：通過標準測試硅片標定運動臺在運動過程中的位置偏差，標準測試硅片包括若干對稱分布的標記且其中一個標記位于標準測試硅片的中心位置；通過光柵尺獲取運動臺的名義位置信號；基于名義位置信號和位置偏差，計算運動臺的實際位置；基于實際位置，生成觸發信號以觸發TDI相機進行圖像采集；解決運動臺的速度和TDI相機的行頻同步精度低的問題。
本發明授權用于成像系統中圖像采集的控制方法及晶圓缺陷檢測設備在權利要求書中公布了：1.一種用于成像系統中圖像采集的控制方法，所述成像系統包括運動臺和TDI相機，其特征在于，包括： 通過標準測試硅片標定所述運動臺在運動過程中不同位置處的位置偏差，所述標準測試硅片包括若干對稱分布的標記且其中一個標記位于所述標準測試硅片的中心位置； 通過光柵尺獲取所述運動臺的名義位置信號； 基于所述名義位置信號和所述位置偏差，計算所述運動臺的實際位置； 基于所述實際位置，生成觸發信號以觸發所述TDI相機進行圖像采集； 所述基于所述實際位置，生成觸發信號以觸發所述TDI相機進行圖像采集，包括： 基于所述運動臺的實際位置以及所述運動臺的運行時間計算相應一段時間間隔內所述運動臺的平均運動速度；生成與所述運動臺的平均運動速度以及所述成像系統的光學放大倍率相匹配的所述觸發信號觸發TDI相機進行圖像采集；或， 基于所述TDI相機的像元尺寸，設置若干觸發位置，每相鄰兩個觸發位置的間隔距離=TDI相機的像元尺寸成像系統的光學放大倍率;所述運動臺的實際位置位于所述觸發位置時，生成所述觸發信號以觸發TDI相機進行圖像采集。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海精積微半導體技術有限公司，其通訊地址為：200000 上海市青浦區趙巷鎮滬青平公路2855弄1-72號B座12層D區1207室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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