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龍圖騰網獲悉浙江奧首材料科技有限公司申請的專利金屬化合物、抗反射金屬硬掩模組合物及制備方法與應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120209011B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510694048.5，技術領域涉及：C07F7/00；該發明授權金屬化合物、抗反射金屬硬掩模組合物及制備方法與應用是由侯軍;呂晶;褚雨露;林一凡設計研發完成，并于2025-05-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本金屬化合物、抗反射金屬硬掩模組合物及制備方法與應用在說明書摘要公布了：本發明提供一種金屬化合物、抗反射金屬硬掩模組合物及制備方法與應用，所述金屬化合物以含有C＝C雙鍵的C2～C12亞烷基或支鏈亞烷基為發色團。所述抗反射金屬硬掩模組合物包括重量配比如下的各組分：所述金屬化合物5?40份；硅氧烷化合物0.1?1份；有機溶劑60?95份。本發明金屬化合物含有豐富的發色基團，含有所述金屬化合物的抗反射金屬硬掩模組合物具有優異的光學性能和高效的蝕刻選擇性，在半導體芯片制造中的圖形化領域具有良好的應用前景和大規模推廣潛力。

本發明授權金屬化合物、抗反射金屬硬掩模組合物及制備方法與應用在權利要求書中公布了：1.一種金屬化合物，其特征在于，結構式如式（1）所示： ； 在式（1）中，M為金屬，n為1至20的自然數； L1和L2為有機配體； 所述有機配體含式（2）虛線中的結構： ； 在式（2）中，R1和R2分別獨立選自鹵素、C1～C20的烷基或C1～C20的烷氧基，R3為含有C＝C雙鍵的C2～C12亞烷基或支鏈亞烷基； 所述金屬化合物的制備方法包括以下步驟： 步驟1：有機配體的合成：將乙酰丙酮衍生物和環己烷衍生物溶解在溶劑中，加熱至50-100℃，在催化劑的催化下發生縮合反應，反應1-10小時，得到的縮合產物即為有機配體； 步驟2：金屬化合物的合成： 步驟2.1：將金屬醇鹽溶解在有機溶劑中，得到金屬醇鹽溶液；將有機配體溶解在有機溶劑中，得到有機配體溶液；將金屬醇鹽溶液在N2氣氛下加入反應容器中，在攪拌的同時加熱至30-50℃，然后將有機配體溶液滴加至金屬醇鹽溶液中，繼續加熱至60-80℃，反應1-5小時，然后冷卻至室溫，得到混合溶液； 步驟2.2：向混合溶液中滴加去離子水，在30-80℃反應1-5小時，然后冷卻至室溫，減壓濃縮，過濾，得到金屬化合物； 所述乙酰丙酮衍生物的結構如式（3）所示： ； 式（3）中，R1和R2分別獨立選自鹵素、C1～C20的烷基或C1～C20的烷氧基； 和或，所述環己烷衍生物的結構如式（4）所示： ； 式（4）中，R4為C0～C9亞烷基或C2～C11支鏈亞烷基； 和或，所述催化劑為哌啶和或醋酸銨； 和或，所述金屬醇鹽為乙醇鈦、異丙醇鈦、正丁醇鈦、異丙醇鋯、正丁醇鋯和正丁醇鉿中的一種或多種。

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