北京特思迪半導體設備有限公司汪岳鵬獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京特思迪半導體設備有限公司申請的專利粗糙表面生成方法及設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120412857B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510905694.1,技術領域涉及:G16C60/00;該發明授權粗糙表面生成方法及設備是由汪岳鵬;蔣繼樂;寇明虎設計研發完成,并于2025-07-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本粗糙表面生成方法及設備在說明書摘要公布了:本發明提供一種粗糙表面生成方法及設備。應用于材料表面科學領域。該方法包括:獲取被測樣品的若干采樣點的高度數據;并進行頻域分析和統計學分析,得到第一高度頻域數據和第一高度分布參數;根據采樣分辨率隨機生成隨機布朗分形表面;根據隨機布朗分形表面、第一高度分布參數生成布朗分形表面;對布朗分形表面進行頻域分析,得到第二高度頻域數據;調節隨機布朗分形表面的自相似性參數,得到第三高度頻域數據;根據第一高度頻域數據對第三高度頻域數據進行校正,得到第四高度頻域數據;對第四高度頻域數據進行傅里葉逆變換,生成滿足被測樣品的統計學規律的粗糙表面。本發明通過兩次修正,高效率和高精度獲取與被測樣品高度相符的模擬粗糙表面。
本發明授權粗糙表面生成方法及設備在權利要求書中公布了:1.一種粗糙表面生成方法,其特征在于,包括: 獲取被測樣品的若干采樣點的高度數據; 對所述若干采樣點的高度數據分別進行頻域分析和統計學分析,得到第一高度頻域數據和第一高度分布參數;以及根據所述若干采樣點的采樣分辨率隨機生成隨機布朗分形表面; 根據所述隨機布朗分形表面中若干點的高度數據、所述第一高度分布參數生成布朗分形表面,其中布朗分形表面的高度分布參數與所述第一高度分布參數相等; 對所述布朗分形表面進行頻域分析,得到第二高度頻域數據; 以調節所述隨機布朗分形表面的自相似性參數的方式,再次執行所述根據所述若干采樣點的采樣分辨率隨機生成隨機布朗分形表面的步驟,直至所述第二高度頻域數據與所述第一高度頻域數據的高頻區域重合; 根據高頻區域的重合區域,得到第三高度頻域數據; 根據所述第一高度頻域數據對所述第三高度頻域數據進行校正,得到第四高度頻域數據; 對所述第四高度頻域數據進行傅里葉逆變換,生成滿足被測樣品的統計學規律的粗糙表面; 其中,根據所述隨機布朗分形表面中若干點的高度數據、所述第一高度分布參數生成布朗分形表面,其中布朗分形表面的高度分布參數與所述第一高度分布參數相等,包括: 根據所述隨機布朗分形表面中若干點的高度數據計算第二高度分布參數,所述第二高度分布參數包括第二標準差或第二輪廓算術平均偏差; 根據所述隨機布朗分形表面中若干點的高度數據、所述第一高度分布參數、所述第二高度分布參數計算布朗分形表面中若干點的高度數據,其中布朗分形表面的高度分布參數與所述第一高度分布參數相等; 根據布朗分形表面中若干點的高度數據生成布朗分形表面。
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