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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市展恒電子有限公司申請(qǐng)的專利一種高精度智能儀表測(cè)量芯片的制造方法及相關(guān)裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120473399B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510950553.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/603；該發(fā)明授權(quán)一種高精度智能儀表測(cè)量芯片的制造方法及相關(guān)裝置是由王曉紅設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-10向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種高精度智能儀表測(cè)量芯片的制造方法及相關(guān)裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)一種高精度智能儀表測(cè)量芯片的制造方法及相關(guān)裝置。方法首先對(duì)下層銅互連進(jìn)行多級(jí)真空退火和原子層還原蝕除，引入熱?電協(xié)同應(yīng)力使富空位層轉(zhuǎn)化為〈111〉擇優(yōu)晶粒，獲得晶向一致的鍵合準(zhǔn)備面；隨后在受控惰性氣氛中完成低溫銅?銅熱壓鍵合，并實(shí)時(shí)截取互連初始熱電勢(shì)。通過(guò)驅(qū)動(dòng)上層功能區(qū)按空間映射功耗序列建立垂直熱流，采集界面電壓響應(yīng)，經(jīng)時(shí)序配準(zhǔn)與差分處理提取互連塞貝克偏差；依據(jù)偏差結(jié)果利用再布線層的可編程金屬段實(shí)施同步熔斷和并聯(lián)連接，構(gòu)建熱電平衡互連網(wǎng)絡(luò)并寫入零點(diǎn)漂移標(biāo)定值。該方案在材料、測(cè)定與互連重構(gòu)三個(gè)層面閉合消除方向相關(guān)熱電動(dòng)勢(shì)，從而在納伏級(jí)噪聲條件下保證測(cè)量鏈長(zhǎng)期零漂穩(wěn)定。

本發(fā)明授權(quán)一種高精度智能儀表測(cè)量芯片的制造方法及相關(guān)裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種高精度智能儀表測(cè)量芯片的制造方法，其特征在于，包括： 對(duì)下層硅片暴露的銅互連執(zhí)行真空活化及擇優(yōu)晶向重構(gòu)處理，清除氧化膜并使銅晶粒沿〈111〉晶面定向，得到經(jīng)處理的鍵合準(zhǔn)備面； 將上層硅片的銅互連與所述鍵合準(zhǔn)備面在惰性氣氛內(nèi)實(shí)施低溫?zé)釅烘I合，形成銅-銅鍵合界面，并采集初始熱電勢(shì)數(shù)據(jù)； 通過(guò)驅(qū)動(dòng)上層功能區(qū)按預(yù)設(shè)功耗序列工作產(chǎn)生垂直熱流，在所述銅-銅鍵合界面采集熱電勢(shì)響應(yīng)數(shù)據(jù)，生成熱電勢(shì)響應(yīng)曲線； 根據(jù)所述初始熱電勢(shì)數(shù)據(jù)與所述熱電勢(shì)響應(yīng)曲線執(zhí)行差分運(yùn)算，得到互連塞貝克偏差參數(shù)集合； 根據(jù)所述互連塞貝克偏差參數(shù)集合對(duì)互連網(wǎng)絡(luò)實(shí)施選擇性熔斷或并聯(lián)連接，形成熱電平衡互連網(wǎng)絡(luò)并記錄零點(diǎn)漂移標(biāo)定值，具體包括：對(duì)所述互連塞貝克偏差參數(shù)集合執(zhí)行閾值分類處理，將互連劃分為正偏差組、負(fù)偏差組與可忽略組，生成互連補(bǔ)償映射表；根據(jù)所述互連補(bǔ)償映射表對(duì)正偏差組與負(fù)偏差組實(shí)施極性配對(duì)匹配處理，確定熔斷目標(biāo)橋線與并聯(lián)連接橋線的對(duì)應(yīng)組合，得到互連拓?fù)湔{(diào)整方案；根據(jù)所述互連拓?fù)湔{(diào)整方案在再布線層執(zhí)行可編程金屬段選擇性熔斷處理，切斷熔斷目標(biāo)橋線，生成中間互連拓?fù)洌辉谒鲋虚g互連拓?fù)浠A(chǔ)上執(zhí)行增材金屬閉合處理，閉合并聯(lián)連接橋線，獲得熱電平衡互連網(wǎng)絡(luò)；對(duì)所述熱電平衡互連網(wǎng)絡(luò)執(zhí)行零點(diǎn)校核采樣處理，測(cè)量殘余熱電勢(shì)并寫入存儲(chǔ)陣列，記錄零點(diǎn)漂移標(biāo)定值。

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