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龍圖騰網獲悉蘇州博宏源設備股份有限公司申請的專利一種晶圓拋光機的散熱降溫結構獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120461336B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202510969010.4，技術領域涉及：B24B55/03；該發(fā)明授權一種晶圓拋光機的散熱降溫結構是由任明元;梁春;劉文平;強彥東設計研發(fā)完成，并于2025-07-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓拋光機的散熱降溫結構在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種晶圓拋光機的散熱降溫結構，包括承接座、拋光盤、拋光墊、拋光頭、修整盤、噴液管以及調節(jié)機構，其中，所述拋光盤轉動設置在所述承接座上，所述拋光盤上設置有拋光墊，所述拋光盤上方轉動設置有用于擠壓晶圓的拋光頭，所述拋光盤上方還設置有用于保持所述拋光墊表面粗糙度的修整盤以及用于噴灑拋光液的噴液管，所述拋光盤中沿周向開設有多個間隔分布的冷卻通道一及冷卻通道二，所述冷卻通道一與冷卻通道二均沿所述拋光盤的半徑方向開設，所述冷卻通道一與冷卻通道二上均開設有多個開口，多個所述冷卻通道一上的所述開口呈圓周設置，多個所述冷卻通道二上的所述開口呈圓周設置，且每個所述開口中均滑動設置有調節(jié)機構。

本發(fā)明授權一種晶圓拋光機的散熱降溫結構在權利要求書中公布了：1.一種晶圓拋光機的散熱降溫結構，其特征在于：包括承接座1、拋光盤2、拋光墊3、拋光頭4、修整盤5、噴液管6及調節(jié)機構7，所述拋光盤2轉動設置在所述承接座1上，所述拋光盤2上設置有拋光墊3，所述拋光盤2上方轉動設置有用于擠壓晶圓的拋光頭4，所述拋光盤2上方還設置有用于保持所述拋光墊3表面粗糙度的修整盤5及用于噴灑拋光液的噴液管6，所述拋光盤2中沿周向開設有多個間隔分布的冷卻通道一21及冷卻通道二22，所述冷卻通道一21與冷卻通道二22均沿所述拋光盤2的半徑方向開設，所述冷卻通道一21與冷卻通道二22上均開設有多個開口23，多個所述冷卻通道一21上的所述開口23呈圓周設置，多個所述冷卻通道二22上的所述開口23呈圓周設置，且每個所述開口23中均滑動設置有調節(jié)機構7； 所述調節(jié)機構7包括滑塊71、連通板72、微型制冷器73及密封板74，所述滑塊71沿所述開口23軸向滑動設置，所述滑塊71上固定設置有連通板72，所述連通板72兩側固定設置有微型制冷器73，所述滑塊71上固定設置有密封板74，所述開口23內設有密封腔231，所述密封板74沿所述密封腔231密封滑動設置； 所述滑塊71上固定設置有間隔板711，所述間隔板711沿所述冷卻通道一21及冷卻通道二22密封滑動設置，且多個所述間隔板711將所述冷卻通道一21及冷卻通道二22分隔成多個獨立腔段； 所述滑塊71上以所述間隔板711為對稱面對稱開設有兩個穿口712，所述連通板72上開設有連通通道721，所述連通通道721將兩個所述穿口712連通； 所述拋光盤2上自內向外固定設置有第一進液環(huán)24、第二進液環(huán)25及出液環(huán)26，所述第一進液環(huán)24與所述冷卻通道一21的輸入端連通，所述第二進液環(huán)25與冷卻通道二22的輸入端連通，所述冷卻通道一21與冷卻通道二22的輸出端均與所述出液環(huán)26連通； 所述第一進液環(huán)24上嵌設有溫度傳感器一，所述第二進液環(huán)25上嵌設有溫度傳感器二，所述滑塊71靠近所述第一進液環(huán)24的一端嵌設有溫度傳感器三，所述承接座1上固定設置有控制器，所述溫度傳感器一、溫度傳感器二及溫度傳感器三均與所述控制器電性連接。

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