西默有限公司R·A·布爾德特獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉西默有限公司申請的專利輻射源測試獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114631061B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080076759.1，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權輻射源測試是由R·A·布爾德特;T·P·達菲設計研發完成，并于2020-10-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本輻射源測試在說明書摘要公布了：一種生成用于輻射源的測試的方法，該輻射源用于光刻設備，該方法包括以下步驟：接收與輻射源的多個發射圖案相對應的數據。該方法還包括以下步驟：分析數據以確定用于配置一個或多個另外的發射圖案的參數，該一個或多個另外的發射圖案用于測試輻射源。參數被確定為：使得輻射源當執行使用參數所配置的一個或多個另外的發射圖案時的穩定性與輻射源當執行多個發射圖案時的穩定性基本上相同或在相對于輻射源當執行多個發射圖案時的穩定性的預定界限內。另外，參數被確定為：使得一個或多個另外的發射圖案當由輻射源執行時的總持續時間將小于多個發射圖案當由輻射源執行時的持續時間。
本發明授權輻射源測試在權利要求書中公布了：1.一種生成用于輻射源的測試的方法，所述輻射源用于光刻設備，所述方法包括以下步驟： 接收與所述輻射源的多個發射圖案相對應的數據；以及 分析所述數據以確定用于配置一個或多個另外的發射圖案的參數，所述一個或多個另外的發射圖案用于測試所述輻射源； 其中所述參數被確定為：使得所述輻射源當執行使用所述參數所配置的所述一個或多個另外的發射圖案時的穩定性與所述輻射源當執行所述多個發射圖案時的穩定性基本上相同或在相對于所述輻射源當執行所述多個發射圖案時的穩定性的預定界限內， 并且所述一個或多個另外的發射圖案當由所述輻射源執行時的總持續時間將小于所述多個發射圖案當由所述輻射源執行時的持續時間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人西默有限公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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