應用材料公司V·D·帕科獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利具有內部通道的半導體基板支撐件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115362541B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180026040.1，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權具有內部通道的半導體基板支撐件是由V·D·帕科設計研發完成，并于2021-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本具有內部通道的半導體基板支撐件在說明書摘要公布了：一種示例性基板支撐組件可包括限定基板支撐表面的靜電夾盤主體。支撐組件可包括與靜電夾盤主體耦合的支撐桿。支撐組件可包括電極，所述電極靠近基板支撐表面嵌入在靜電夾盤主體內。支撐組件可包括嵌入在靜電夾盤主體內的接地電極。支撐組件可包括形成在電極與接地電極之間的靜電夾盤主體內的一個或多個通道。
本發明授權具有內部通道的半導體基板支撐件在權利要求書中公布了：1.一種基板支撐組件，包含： 靜電夾盤主體，所述靜電夾盤主體限定基板支撐表面； 支撐桿，所述支撐桿與所述靜電夾盤主體耦合； 電極，所述電極靠近所述基板支撐表面嵌入在所述靜電夾盤主體內； 接地電極，所述接地電極嵌入在所述靜電夾盤主體內； 加熱器，所述加熱器嵌入在所述電極和所述接地電極之間的所述靜電夾盤主體內；以及 一個或多個通道，所述一個或多個通道形成在所述電極與所述接地電極之間的所述靜電夾盤主體內，其中： 所述一個或多個通道中的每一個與所述基板支撐表面流體隔離；并且 所述一個或多個通道中的第一通道形成在所述接地電極和所述加熱器之間的所述靜電夾盤主體內。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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