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龍圖騰網(wǎng)獲悉科磊股份有限公司申請(qǐng)的專利無(wú)專用質(zhì)量控制晶片的半導(dǎo)體計(jì)量工具的群匹配獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115485546B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202180032402.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N21/95；該發(fā)明授權(quán)無(wú)專用質(zhì)量控制晶片的半導(dǎo)體計(jì)量工具的群匹配是由吳松;詹天榮;列-關(guān)·利設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-05-24向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本無(wú)專用質(zhì)量控制晶片的半導(dǎo)體計(jì)量工具的群匹配在說(shuō)明書摘要公布了：本文呈現(xiàn)用于校準(zhǔn)計(jì)量工具偏移值以使測(cè)量結(jié)果跨計(jì)量工具群匹配的方法及系統(tǒng)。偏移值的所述校準(zhǔn)是基于聯(lián)機(jī)生產(chǎn)晶片的測(cè)量且無(wú)需使用經(jīng)專門制造及特征化的質(zhì)量控制QC晶片。以此方式，用于校準(zhǔn)計(jì)量工具偏移值的整個(gè)過(guò)程流程自動(dòng)化且與大量半導(dǎo)體制造工藝流程完全集成。在進(jìn)一步方面中，新偏移值的實(shí)施方案由一或多個(gè)預(yù)定控制限值調(diào)節(jié)。在另一進(jìn)一步方面中，關(guān)注參數(shù)的測(cè)量值經(jīng)調(diào)整以補(bǔ)償測(cè)量時(shí)間對(duì)測(cè)量下的晶片的影響。

本發(fā)明授權(quán)無(wú)專用質(zhì)量控制晶片的半導(dǎo)體計(jì)量工具的群匹配在權(quán)利要求書中公布了：1.一種方法，其包括： 接收特征化安置于多個(gè)聯(lián)機(jī)生產(chǎn)晶片上的一或多個(gè)結(jié)構(gòu)的關(guān)注參數(shù)的多個(gè)測(cè)量，其中在半導(dǎo)體制造工藝流程的相同工藝步驟中測(cè)量所述多個(gè)聯(lián)機(jī)生產(chǎn)晶片中的每一者，其中所述關(guān)注參數(shù)的所述多個(gè)測(cè)量與通過(guò)計(jì)量系統(tǒng)群的兩個(gè)或更多個(gè)計(jì)量系統(tǒng)的所述多個(gè)晶片中的每一者的測(cè)量相關(guān)聯(lián)，其中通過(guò)所述計(jì)量系統(tǒng)群的計(jì)量系統(tǒng)的所述關(guān)注參數(shù)的測(cè)量的當(dāng)前值是基于與所述計(jì)量系統(tǒng)對(duì)應(yīng)的當(dāng)前偏移值； 相對(duì)于跨用于測(cè)量所述多個(gè)聯(lián)機(jī)生產(chǎn)晶片的第一聯(lián)機(jī)生產(chǎn)晶片的所述兩個(gè)或更多個(gè)計(jì)量系統(tǒng)中的每一者的所述關(guān)注參數(shù)的平均測(cè)量值來(lái)確定與所述計(jì)量系統(tǒng)群的所述計(jì)量系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的第一測(cè)量偏離； 至少部分基于所述第一測(cè)量偏離來(lái)確定所述計(jì)量系統(tǒng)群的所述計(jì)量系統(tǒng)的更新偏移值；及 基于所述更新偏移值和通過(guò)所述計(jì)量系統(tǒng)對(duì)所述關(guān)注參數(shù)的測(cè)量的所述當(dāng)前值來(lái)估計(jì)通過(guò)所述計(jì)量系統(tǒng)的所述關(guān)注參數(shù)的測(cè)量的校正值。

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