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龍圖騰網獲悉清華大學;華海清科股份有限公司申請的專利一種膜厚測量方法和化學機械拋光設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113471094B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110895311.9，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權一種膜厚測量方法和化學機械拋光設備是由王成鑫;王同慶;田芳馨;侯映紅;路新春設計研發完成，并于2021-08-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種膜厚測量方法和化學機械拋光設備在說明書摘要公布了：本發明提供了一種膜厚測量方法和化學機械拋光設備，其中，方法包括：獲取膜厚測量裝置距金屬薄膜的距離和金屬薄膜的材質；根據所述距離和材質，確定相應的標定曲線，所述標定曲線用于表征膜厚測量裝置的輸出信號與膜厚之間的映射關系；實時獲取所述膜厚測量裝置的輸出信號；根據所述標定曲線和所述輸出信號，得到當前的金屬薄膜的膜厚。

本發明授權一種膜厚測量方法和化學機械拋光設備在權利要求書中公布了：1.一種膜厚測量方法，其特征在于，包括： 獲取膜厚測量裝置距金屬薄膜的距離和金屬薄膜的材質； 根據所述距離和材質，確定相應的標定曲線，所述標定曲線用于表征膜厚測量裝置的輸出信號與膜厚之間的映射關系； 實時獲取所述膜厚測量裝置的輸出信號； 根據所述標定曲線和所述輸出信號，得到當前的金屬薄膜的膜厚； 所述膜厚測量裝置包括傳感器、信號發生電路和鑒頻器； 所述的膜厚測量方法還包括以下標定曲線獲取步驟： 獲取所述傳感器距金屬薄膜的安裝距離； 通過所述信號發生電路向傳感器輸入一定頻率范圍的等幅調頻電流信號； 通過所述鑒頻器對等幅調頻電流信號和傳感器等效回路兩端輸出的電壓幅值進行頻率-振幅變換，得到電壓幅值最大時所對應的頻率，即為諧振頻率； 使用膜厚測量裝置探測不同膜厚的金屬薄膜，獲取不同膜厚對應的諧振頻率，其中，金屬薄膜的膜厚和材質已知； 根據諧振頻率計算得到等效電感，擬合得到電感-膜厚標定曲線，所述電感-膜厚標定曲線即為在該安裝距離的提離高度下、該材質金屬薄膜的標定曲線； 所述根據所述標定曲線和所述輸出信號，得到當前的金屬薄膜的膜厚，包括： 通過信號發生電路向傳感器輸入一定頻率范圍的等幅調頻電流信號； 通過鑒頻器對等幅調頻電流信號和傳感器等效回路兩端輸出的電壓幅值進行頻率-振幅變換，得到電壓幅值最大時所對應的頻率； 根據所述電壓幅值最大時所對應的頻率，計算得到對應的等效電感； 根據所述等效電感和所述電感-膜厚標定曲線，計算得到當前的金屬薄膜的膜厚。

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