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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利輸送裝置和機(jī)械臂的示教方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114256116B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111067797.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)輸送裝置和機(jī)械臂的示教方法是由深澤貴光;金丸亮介設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-09-13向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本輸送裝置和機(jī)械臂的示教方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供能夠高精度地進(jìn)行機(jī)械臂的示教的輸送裝置和機(jī)械臂的示教方法。輸送裝置包括：具有臂和使臂旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)部的機(jī)械臂、第一照射部、第一受光部以及控制裝置。控制裝置執(zhí)行步驟a～步驟c。在步驟a中，檢測(cè)從第一照射部照射的光的第一光路不被臂遮擋的狀態(tài)變化為第一光路被遮擋的狀態(tài)時(shí)的臂的第一回旋角。在步驟b中，檢測(cè)從第一光路被臂遮擋的狀態(tài)變化為第一光路不被臂遮擋的狀態(tài)時(shí)的臂的第二旋轉(zhuǎn)角度。在步驟c中，基于通過了第一光路的部分的機(jī)械臂的寬度、第一光路被遮擋時(shí)的第一光路與臂的第一交點(diǎn)的位置、第一旋轉(zhuǎn)角度和第二旋轉(zhuǎn)角度，確定臂的第一旋轉(zhuǎn)軸的位置。

本發(fā)明授權(quán)輸送裝置和機(jī)械臂的示教方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種輸送基片的輸送裝置，其特征在于，包括： 機(jī)械臂，其具有輸送所述基片的臂和使所述臂旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)部； 沿著第一光路照射光的第一照射部； 接收從所述第一照射部照射的光的第一受光部；以及 控制裝置，其控制所述驅(qū)動(dòng)部以使所述臂橫穿所述第一光路地旋轉(zhuǎn)， 所述控制裝置執(zhí)行如下步驟： 步驟a基于從所述第一照射部照射的光是否被所述第一受光部接收到，檢測(cè)從所述第一光路不被所述臂遮擋的狀態(tài)變化為所述第一光路被所述臂遮擋的狀態(tài)時(shí)的所述臂的第一旋轉(zhuǎn)角度； 步驟b基于從所述第一照射部照射的光是否被所述第一受光部接收到，檢測(cè)從所述第一光路被所述臂遮擋的狀態(tài)變化為所述第一光路不被所述臂遮擋的狀態(tài)時(shí)的所述臂的第二旋轉(zhuǎn)角度；以及 步驟c基于通過了所述第一光路的所述臂的部分的寬度、所述第一光路被遮擋時(shí)的所述第一光路與所述臂的第一交點(diǎn)的位置、所述第一旋轉(zhuǎn)角度和所述第二旋轉(zhuǎn)角度，確定所述臂的第一旋轉(zhuǎn)軸的位置， 所述控制裝置控制所述驅(qū)動(dòng)部，以使外形的寬度一定的所述臂的部分橫穿從所述第一照射部照射的光的第一光路地旋轉(zhuǎn)。

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