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          平面度科技(蘇州)有限公司解小青獲國家專利權

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          龍圖騰網獲悉平面度科技(蘇州)有限公司申請的專利一種UV解膠機獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114464559B

          龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210183645.8,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權一種UV解膠機是由解小青設計研發完成,并于2021-11-05向國家知識產權局提交的專利申請。

          一種UV解膠機在說明書摘要公布了:本發明公開了一種UV解膠機,涉及解膠機技術領域,包括外部殼體和設置在外部殼體底部四角處的支撐組件和滾輪組件,所述外部殼體包括位于左上側的晶圓放置箱、位于右上側的放置晶圓提籃的提籃主箱、位于右下側的使晶圓提籃升降的晶圓次箱、位于左下側的用于晶圓解膠的解膠箱,所述晶圓放置箱、提籃主箱、晶圓次箱和解膠箱順序連通,所述晶圓放置箱內設置有用于放置晶圓的晶圓箱,所述提籃主箱內設置有晶圓提籃、安裝架、設置在安裝架上且能調整放置晶圓提籃距離的調整架、設置在安裝架上且能沿安裝架水平移動到晶圓箱內拾取晶圓的機械抓手組件;本發明設計合理,具有集成度高、解膠效果好,工作效率高的優點。

          本發明授權一種UV解膠機在權利要求書中公布了:1.一種UV解膠機,包括外部殼體和設置在外部殼體底部四角處的支撐組件(6)和滾輪組件(7),其特征在于,所述外部殼體包括位于左上側的晶圓放置箱(4)、位于右上側的放置晶圓提籃的提籃主箱(2)、位于右下側的使晶圓提籃升降的晶圓次箱(1)、位于左下側的用于晶圓解膠的解膠箱(5),所述晶圓放置箱(4)、提籃主箱(2)、晶圓次箱(1)和解膠箱(5)順序連通,所述晶圓放置箱(4)內設置有用于放置晶圓的晶圓箱(4-3),所述提籃主箱(2)內設置有晶圓提籃(2-2)、安裝架(2-5)、設置在安裝架(2-5)上且能調整放置晶圓提籃(2-2)距離的調整架(2-1)、設置在安裝架(2-5)上且能沿安裝架(2-5)水平移動到晶圓箱(4-3)內拾取晶圓的機械抓手組件(2-3); 所述晶圓次箱(1)內設置有直線升降機構(1-1),直線升降機構(1-1)頂部與調整架(2-1)底部連接,所述直線升降機構(1-1)為升降氣缸; 所述解膠箱(5)內設置有隔板(5-1),所述隔板(5-1)中部鑲嵌有圓盤狀的石英玻璃(5-3),所述隔板(5-1)上還設置有位于石英玻璃(5-3)兩側的晶圓提籃A(5-2),所述隔板(5-1)上還設置有一對用于調整晶圓提籃A(5-2)間距的調整機構A(5-5),所述隔板(5-1)下方設置有用于對準石英玻璃(5-3)的UV燈管組件(5-6)。

          如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人平面度科技(蘇州)有限公司,其通訊地址為:215000 江蘇省蘇州市工業園區唯西路23號B幢106室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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