細美事有限公司嚴基象獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉細美事有限公司申請的專利用于處理基板的設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114530394B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111360694.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權用于處理基板的設備是由嚴基象;崔晉鎬;丁宣旭;崔炳斗;安熙滿;金是殷設計研發完成，并于2021-11-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于處理基板的設備在說明書摘要公布了：本發明涉及一種用于處理基板的設備，該設備包括：處理容器，該處理容器具有內部空間；支承單元，該支承單元在內部空間中支承和旋轉基板；以及排放單元，該排放單元釋放內部空間中的氣流。排放單元包括氣流引導管道，氣流在相對于支承于支承單元上的基板的旋轉方向的切向方向上被引入到該氣流引導管道中。
本發明授權用于處理基板的設備在權利要求書中公布了：1.一種用于處理基板的設備，所述設備包括： 處理容器，所述處理容器具有內部空間； 支承單元，所述支承單元配置為在所述內部空間中支承和旋轉所述基板；以及 排放單元，所述排放單元配置為釋放所述內部空間中的氣流， 其中，所述排放單元包括氣流引導管道，所述氣流在相對于支承在所述支承單元上的所述基板的旋轉方向的切向方向上被引入到所述氣流引導管道中， 其中，所述支承單元包括： 支承板，所述支承板配置為支承所述基板； 旋轉軸，所述旋轉軸配置為旋轉所述支承板； 其中，所述處理容器包括： 外杯狀物，所述外杯狀物配置為提供所述內部空間；和 內杯狀物，所述內杯狀物設置在所述內部空間中，以便與所述外杯狀物間隔開，所述內杯狀物配置為圍繞所述旋轉軸， 其中，至少部分所述氣流引導管道由引導板限定，其中，所述引導板包括內部邊緣和外部邊緣，所述內部邊緣比所述外部邊緣更靠近所述支承單元的所述旋轉軸，所述引導板具有從所述內部邊緣到所述外部邊緣的向下傾斜， 其中，所述引導板為螺旋形引導板，所述氣流引導管道由所述外杯狀物、所述內杯狀物和所述螺旋形引導板圍繞的空間所限定。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人細美事有限公司，其通訊地址為：韓國忠清南道天安市西北區稷山邑四產團五街77號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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