京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司李月獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司申請的專利無源濾波器及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114520222B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210112631.7,技術領域涉及:H10D86/85;該發明授權無源濾波器及其制備方法是由李月;安齊昌;肖月磊;吳藝凡;曹雪;韓基挏;周毅;常文博;馮昱霖;曲峰設計研發完成,并于2022-01-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本無源濾波器及其制備方法在說明書摘要公布了:本公開提供一種無源濾波器及其制備方法,屬于射頻器件技術領域。本公開提供一種無源濾波器,其包括:介質基板、至少一個電容以及至少一個電感;電容包括背離介質基板方向依次設置的第一極板、第一層間介質層以及第二極板;其中,第一層間介質材料的介電常數隨著第一極板和第二極板之間的靜電場變化而變化。
本發明授權無源濾波器及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種無源濾波器,其特征在于,包括:介質基板、至少一個電容以及至少一個電感;所述電容包括背離所述介質基板方向依次設置的第一極板、第一層間介質層以及第二極板;其中,所述第一層間介質材料的介電常數隨著所述第一極板和所述第二極板之間的靜電場變化而變化; 所述介質基板還包括沿其厚度方向的第一連接過孔以及沿厚度方向相對設置的第一表面和第二表面; 所述電感包括設置在所述介質基板的所述第一表面上的第一子結構,設置在所述介質基板的所述第二表面上的第二子結構,以及設置在所述第一連接過孔內的第一連接電極,且所述第一連接電極將所述第一子結構和所述第二子結構連接,形成所述電感的線圈結構;所述第二子結構和所述電容的所述第一極板電連接; 所述無源濾波器還包括背離所述第一層間介質層設置的第二層間介質層;所述第二子結構包括背離所述介質基板一側依次設置的第一導電膜層和第二導電膜層;所述第一導電膜層和所述電容的所述第一極板電連接;所述第二導電膜層通過貫穿所述第一層間介質層和第二層間介質層上的第二連接過孔和第三連接過孔和所述第一導電膜層電連接; 所述無源濾波器還包括與所述第二導電膜層同層設置的第二連接電極和第三連接電極;所述第二連接電極通過貫穿所述第二層間介質層上的第四連接過孔和所述電容的所述第二極板電連接;所述第三連接電極通過貫穿所述第二層間介質層和第三層間介質層的第五連接過孔和所述電容的所述第一極板電連接; 所述無源濾波器還包括背離所述第二導電膜層一側設置的第三層間介質層,以及背離所述第一子結構一側設置的第四層間介質層。
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