買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉鵬城半導體技術(深圳)有限公司申請的專利一種立式雙室熱絲CVD系統及其使用方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115896746B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211432334.7，技術領域涉及：C23C16/44；該發明授權一種立式雙室熱絲CVD系統及其使用方法是由吳向方;梁玉生;孔祥鵬;吳煦;梁家祿;蔡豫設計研發完成，并于2022-11-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種立式雙室熱絲CVD系統及其使用方法在說明書摘要公布了：本發明公開一種立式雙室熱絲CVD系統及其使用方法，涉及化學沉積鍍膜設備技術領域，進樣室具有預處理腔。工藝室具有工藝腔，工藝腔與預處理腔相連通。若干個傳動輥設置于預處理腔和工藝腔底部。插板閥用于插設于進樣室靠近工藝室的一側，將預處理腔和工藝腔隔離開。還用于拔出插板閥時，將預處理腔和工藝腔之間連通。樣品車位于傳動輥上，且沿著傳動輥在預處理腔和工藝腔之間移動；樣品車具有安裝腔，安裝腔用于安裝基片。熱絲用于在樣品車移動至工藝腔內時，位于安裝腔內，且基片位于熱絲的一側或者兩側。進氣管路設置于工藝腔頂部，進氣管路用于通入混合氣體。抽氣系統用于抽真空，與預處理腔和工藝腔底部相連通。本發明用于基片鍍膜。

本發明授權一種立式雙室熱絲CVD系統及其使用方法在權利要求書中公布了：1.一種立式雙室熱絲CVD系統，用于基片鍍膜，其特征在于，所述立式雙室熱絲CVD系統包括： 進樣室，具有預處理腔； 工藝室，具有工藝腔，所述工藝腔與所述預處理腔相連通； 若干個傳動輥，設置于所述預處理腔和工藝腔底部； 插板閥，用于插設于所述進樣室靠近所述工藝室的一側，將所述預處理腔和所述工藝腔隔離開；還用于拔出所述插板閥時，將所述預處理腔和所述工藝腔之間連通； 樣品車，位于所述傳動輥上，且沿著所述傳動輥在所述預處理腔和所述工藝腔之間移動；所述樣品車具有安裝腔，所述安裝腔具有兩個平行設置相對的安裝面，所述安裝面用于安裝基片； 若干個等間距設置且位于同一平面的熱絲，設置于所述工藝腔內，所述熱絲用于在所述樣品車移動至所述工藝腔內時，位于所述安裝腔內，且所述基片位于所述熱絲的一側或者兩側； 所述插板閥包括： 外殼，位于所述進樣室的上部，且與所述進樣室的頂壁垂直相連； 兩個平行設置的連接板，一部分伸入至預處理腔的前后相對的兩個側壁，且與所述預處理腔相連，另一部分深入至所述外殼內與所述外殼的側壁相連； 兩個冷水板，垂直設置于所述兩個連接板之間，且與所述連接板滑動相連，所述冷水板內具有冷水腔，所述冷水腔內通入冷卻液； 氣缸，具有氣缸桿，所述氣缸桿與所述兩個冷水板的內壁鉸接，所述氣缸用于將所述兩個冷水板推入至所述預處理腔內，使得冷水板抵接于所述工藝腔靠近所述預處理腔的一側實現密封；所述氣缸還用于將所述兩個冷水板拉出所述外殼內，從而實現預處理腔和所述工藝腔之間的連通； 所述進樣室和工藝室的側壁均具有間隙夾層，所述立式雙室熱絲CVD系統還包括： 水冷系統，包括冷卻水箱和水管，其中，所述水管與所述冷卻水箱相連通，所述水管的進口與所述進樣室和所述工藝室的底部的間隙夾層，以及水冷板相連通；所述水管的出口與所述進樣室和所述工藝室的頂部的間隙夾層，以及水冷板相連通。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人鵬城半導體技術(深圳)有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市光明區玉塘街道田寮社區光僑路高科創新中心三層339；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。