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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海積塔半導(dǎo)體有限公司申請的專利電子束蒸發(fā)臺的檢測系統(tǒng)及檢測方法、存儲介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN117418209B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202311315412.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/54；該發(fā)明授權(quán)電子束蒸發(fā)臺的檢測系統(tǒng)及檢測方法、存儲介質(zhì)是由何勇;解海江設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-10-11向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本電子束蒸發(fā)臺的檢測系統(tǒng)及檢測方法、存儲介質(zhì)在說明書摘要公布了：本申請涉及一種電子束蒸發(fā)臺的檢測系統(tǒng)及檢測方法、存儲介質(zhì)。該檢測系統(tǒng)包括重力檢測裝置，位于行星架背離鍍鍋的表面，用于檢測行星架的實(shí)時(shí)重量，并生成重量檢測信號；判定裝置，用于接收并根據(jù)重量檢測信號判定安裝在行星架上的鍍鍋的數(shù)量，在判定鍍鍋均安裝在行星架上時(shí)，生成第一控制信號；控制裝置，用于接收并根據(jù)第一控制信號控制旋轉(zhuǎn)馬達(dá)處于鎖死狀態(tài)，以禁止鍍鍋的手動(dòng)旋轉(zhuǎn)。消除鍍鍋受手動(dòng)推力旋轉(zhuǎn)時(shí)，受力不均勻?qū)е洛冨伾系木A發(fā)生碎片的問題，降低了蒸發(fā)臺導(dǎo)致的晶圓報(bào)廢量，從而降低制造成本。

本發(fā)明授權(quán)電子束蒸發(fā)臺的檢測系統(tǒng)及檢測方法、存儲介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種電子束蒸發(fā)臺的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述電子束蒸發(fā)臺包括行星架和鍍鍋，所述鍍鍋可拆卸的安裝于所述行星架上，所述檢測系統(tǒng)包括： 重力檢測裝置，位于所述行星架背離所述鍍鍋的表面，用于檢測所述行星架的實(shí)時(shí)重量，并生成重量檢測信號； 判定裝置，用于接收并根據(jù)所述重量檢測信號判定安裝在所述行星架上的鍍鍋的數(shù)量，在判定所述鍍鍋均安裝在所述行星架上時(shí)，生成第一控制信號； 控制裝置，用于接收并根據(jù)所述第一控制信號控制旋轉(zhuǎn)馬達(dá)處于鎖死狀態(tài)，以禁止所述鍍鍋的手動(dòng)旋轉(zhuǎn)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上海積塔半導(dǎo)體有限公司，其通訊地址為：200135 上海市浦東新區(qū)云水路600號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。