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龍圖騰網(wǎng)獲悉河北工業(yè)大學(xué)申請(qǐng)的專利一種基于等離子體處理的濕度傳感器及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN118837412B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202410797218.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N27/22；該發(fā)明授權(quán)一種基于等離子體處理的濕度傳感器及其制備方法是由夏文杰;何彬;吳錦昕;徐桂芝設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-06-20向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種基于等離子體處理的濕度傳感器及其制備方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于等離子體處理的濕度傳感器及其制備方法，所述濕度傳感器包括電極片，電極片包括依次設(shè)置的聚二甲基硅氧烷薄膜、激光誘導(dǎo)石墨烯層和氧化石墨烯層；在激光誘導(dǎo)石墨烯層的兩個(gè)端點(diǎn)分別設(shè)有接觸位點(diǎn)；兩條導(dǎo)線分別連接兩個(gè)接觸位點(diǎn)；偏聚二氟乙烯膜貼附于電極片的頂層作為封裝層。所述制備方法通過(guò)等離子體射流氧化處理聚二甲基硅氧烷?激光誘導(dǎo)石墨烯?氧化石墨烯層后，得到電極片。等離子體射流氧化處理使石墨烯表面富含大量的含氧官能團(tuán)，使石墨烯具有優(yōu)異的親水性，吸附更多的水分子，其作為濕度傳感器的敏感層性能更好、穩(wěn)定性更強(qiáng)、靈敏度更高。

本發(fā)明授權(quán)一種基于等離子體處理的濕度傳感器及其制備方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基于等離子體處理的濕度傳感器的制備方法，其特征在于，包括如下步驟： S100、將聚酰亞胺薄膜貼附于玻璃基底上，使用激光誘導(dǎo)出石墨烯叉指電極，以形成激光誘導(dǎo)石墨烯-聚酰亞胺層； S200、將激光誘導(dǎo)石墨烯-聚酰亞胺層從玻璃基底上撕下貼附于模具內(nèi)； S300、將聚二甲基硅氧烷溶液與固化劑混合，制備第一溶液； S400、將第一溶液倒入模具內(nèi)干燥，得到聚二甲基硅氧烷-激光誘導(dǎo)石墨烯-聚酰亞胺層； S500、將聚二甲基硅氧烷-激光誘導(dǎo)石墨烯-聚酰亞胺層從模具內(nèi)取出，去除聚酰亞胺層，得到聚二甲基硅氧烷-激光誘導(dǎo)石墨烯層； S600、在石墨烯叉指電極的頂層涂布氧化石墨烯水溶液、干燥，得到聚二甲基硅氧烷-激光誘導(dǎo)石墨烯-氧化石墨烯層； S700、通過(guò)等離子體射流氧化處理聚二甲基硅氧烷-激光誘導(dǎo)石墨烯-氧化石墨烯層后，得到電極片； 其中，等離子體射流氧化處理所使用的氣體為氬氣、乙醇和氧氣的混合氣體，等離子體處理過(guò)程中使用質(zhì)量流量計(jì)控制氬氣、乙醇和氧氣三種氣體的混合比例； 其中，氬氣的流量為4000~6000體積流量單位、乙醇的流量為20~40體積流量單位、氧氣的流量為2~4體積流量單位； 等離子體射流氧化所使用的射流裝置包括： 氧氣支路，所述氧氣支路包括通過(guò)管路依次連接的氧氣儲(chǔ)存罐、第一質(zhì)量流量計(jì)和等離子體產(chǎn)生器； 第一氬氣支路，所述第一氬氣支路包括通過(guò)管路依次連接的氬氣儲(chǔ)存罐、第二質(zhì)量流量計(jì)和等離子體產(chǎn)生器； 第二氬氣支路，所述第二氬氣支路包括通過(guò)管路依次連接的乙醇蒸發(fā)器和第三質(zhì)量流量計(jì)，乙醇蒸發(fā)器和第三質(zhì)量流量計(jì)與所述第二質(zhì)量流量計(jì)并聯(lián)； 電源驅(qū)動(dòng)單元，所述電源驅(qū)動(dòng)單元與等離子體產(chǎn)生器連接； 其中，所述等離子體產(chǎn)生器包括從下至上依次連接的射流頭、環(huán)形地電極、環(huán)形高壓電極和氣動(dòng)接頭； S800、將偏聚二氟乙烯膜貼附于電極片的頂層，得到濕度傳感器。

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