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龍圖騰網(wǎng)獲悉源卓微納科技(蘇州)股份有限公司申請的專利一種反射式光刻鏡頭獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN118859646B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411204670.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)一種反射式光刻鏡頭是由白昊東;張柯;張雷設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-08-30向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種反射式光刻鏡頭在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種反射式光刻鏡頭，包括沿第一光軸方向依次設(shè)置的第一透鏡、第一反射鏡，沿第二光軸方向依次設(shè)置的第二反射鏡、與第二反射鏡同心設(shè)置的光闌、第二透鏡組、第六透鏡，通過物面到第一透鏡的距離、光闌到像面的距離的約束，可以較好地平衡各種光學像差，使光刻鏡頭實現(xiàn)較大的視場的同時，具備優(yōu)異的成像性能，從而解決現(xiàn)有光刻鏡頭視場小的問題。另外，本發(fā)明的光刻鏡頭采用反射式結(jié)構(gòu)，使光線正反向兩次經(jīng)過第二透鏡組，在保證光束傳輸距離的同時減少了鏡片數(shù)量，從而有效減小光刻鏡頭的體積，降低光刻鏡頭的成本和組裝難度。

本發(fā)明授權(quán)一種反射式光刻鏡頭在權(quán)利要求書中公布了：1.一種反射式光刻鏡頭，用于紫外波段，其特征在于，包括沿第一光軸方向依次設(shè)置的第一透鏡、第一反射鏡，沿第二光軸方向依次設(shè)置的第二反射鏡、與第二反射鏡同心設(shè)置的光闌、第二透鏡組、第六透鏡，所述第一光軸方向和所述第二光軸方向垂直； 所述第一透鏡靠近物面設(shè)置；所述第一反射鏡位于所述第一透鏡遠離物面的一側(cè)，且設(shè)置于所述第二透鏡組和所述第六透鏡之間，所述第一反射鏡與所述第一光軸方向成45°夾角，所述第二反射鏡與所述第二光軸方向垂直； 物面發(fā)出的光束經(jīng)過所述第一透鏡，由所述第一反射鏡反射至正向經(jīng)過所述第二透鏡組后，由所述第二反射鏡反射至反向經(jīng)過所述第二透鏡組，然后經(jīng)過所述第六透鏡會聚成像面； 所述光刻鏡頭滿足以下關(guān)系式： 0.02D1f0.021 0.15D2f0.16 其中，f為所述光刻鏡頭的總光焦度，D1為物面到所述第一透鏡的距離，D2為所述光闌到像面的距離； 所述第一透鏡為正光焦度，所述第一透鏡為凹面朝向物面的彎月透鏡，所述第六透鏡為正光焦度，所述第六透鏡為凹面朝向像面的彎月透鏡； 所述第二透鏡組包括依次設(shè)置的第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡，所述第二透鏡設(shè)置于靠近所述第一反射鏡的一側(cè)，所述第五透鏡設(shè)置于靠近所述第二反射鏡的一側(cè)，所述第二透鏡、所述第三透鏡、所述第四透鏡均為正光焦度，所述第五透鏡為負光焦度； 所述第二透鏡為雙凸透鏡，所述第三透鏡、所述第四透鏡和所述第五透鏡均為凹面朝向所述光闌的彎月透鏡，所述第五透鏡靠近所述光闌的一側(cè)與所述光闌之間的距離大于120mm； 所述第一反射鏡和所述第二反射鏡均為平面反射鏡。

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