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龍圖騰網獲悉南昌中微半導體設備有限公司;中微半導體設備(上海)股份有限公司申請的專利一種射頻發生器、半導體處理設備及使用方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119382671B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411969617.4，技術領域涉及：H03K3/57；該發明授權一種射頻發生器、半導體處理設備及使用方法是由徐志鵬;常健;王亞軍設計研發完成，并于2024-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種射頻發生器、半導體處理設備及使用方法在說明書摘要公布了：本發明公開一種射頻發生器、半導體處理設備及使用方法，所述射頻發生器，包括：電容器；高壓電源，其正極與電容器的第一極板連接，其負極與電容器的第二極板連接，其用于對電容器充電；電容器充電完成后輸出直流電壓信號，直流電壓信號的電壓值大于1KV；第一開關，其正極與負載連接，其負極與第二極板連接；第一開關以預設頻率進行斷開和閉合，以將直流電壓信號變換為第一高頻高壓脈沖信號并施加至負載；且預設頻率不小于400KHZ，第一開關的額定電壓大于1KV；第一二極管，其正極與第一開關和負載的連接線連接，其負極連接第一電位接點；第一二極管用于在第一開關斷開時釋放連接線上產生的第一反向電壓。

本發明授權一種射頻發生器、半導體處理設備及使用方法在權利要求書中公布了：1.一種射頻發生器，其特征在于，包括： 電容器，其包括相對設置的第一極板和第二極板；所述第一極板接地； 高壓電源，其正極與所述第一極板連接，其負極與所述第二極板連接；所述高壓電源用于對所述電容器充電，且所述電容器充電完成后輸出直流電壓信號，所述直流電壓信號的電壓值大于1KV； 第一開關，其正極與一負載連接，其負極與所述第二極板連接；所述第一開關以預設頻率進行斷開和閉合，以將所述直流電壓信號變換為第一高頻高壓脈沖信號并施加至所述負載；所述負載為反應腔內的基座；且所述預設頻率不小于400KHZ，所述第一開關的額定電壓大于1KV； 第一二極管，其正極與所述第一開關的正極和所述負載之間的連接線連接，其負極連接第一電位接點；所述第一二極管用于在所述第一開關斷開時釋放所述連接線上產生的第一反向電壓； 還包括：第二二極管，其正極與所述第二極板連接，其負極與所述第一二極管的正極連接，用于在所述高壓電源極性接反時釋放所述電容器放電產生的第二反向電壓，且第二反向電壓通過所述第二二極管和所述第一二極管向所述第一電位接點釋放；或者所述第二二極管的負極接第二電位接點，且所述高壓電源極性接反時所述電容器放電產生的第二反向電壓通過所述第二二極管向所述第二電位接點釋放； 還包括：第一限流電阻，串聯在所述第一開關和所述電容器之間，用于將流經所述第一開關的電流限制在預設范圍內。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人南昌中微半導體設備有限公司;中微半導體設備(上海)股份有限公司，其通訊地址為：330096 江西省南昌市高新技術產業開發區天祥大道699號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。