成都云繹智創科技有限公司羅偉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉成都云繹智創科技有限公司申請的專利晶圓承載機構及晶圓測試設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120102944B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510586332.0，技術領域涉及：G01R1/04；該發明授權晶圓承載機構及晶圓測試設備是由羅偉;葉小波;杜春設計研發完成，并于2025-05-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓承載機構及晶圓測試設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓承載機構及晶圓測試設備，涉及晶圓測試設備技術領域，其中，該晶圓承載機構包括載物臺、卡盤和多個調節組件；載物臺開設有槽口朝上設置的安裝槽；卡盤安裝于安裝槽內，卡盤開設有通孔，通孔的孔壁沿其周向間隔設置有多個支撐凸起，多個支撐凸起用于支撐放置于通孔處的晶圓，卡盤的頂部對應各支撐凸起的位置滑動連接有滑板；多個調節組件環繞安裝槽間隔設置于載物臺；多個調節組件用于帶動對應的滑板相對卡盤沿通孔的徑向滑動至與晶圓的外緣抵接或脫離，以對應使多個滑板配合將晶圓夾緊或放松。本發明的晶圓承載機構，確保晶圓底面的每一個PAD點都能露出以便于檢測，提高了檢測完整性，測試效果更好。
本發明授權晶圓承載機構及晶圓測試設備在權利要求書中公布了：1.一種晶圓承載機構，其特征在于，包括： 載物臺，所述載物臺開設有槽口朝上設置的安裝槽； 卡盤，所述卡盤安裝于所述安裝槽內，所述卡盤開設有通孔，所述通孔的孔壁沿其周向間隔設置有多個支撐凸起，多個所述支撐凸起用于支撐放置于所述通孔處的所述晶圓，所述卡盤的頂部對應各所述支撐凸起的位置滑動連接有滑板；所述滑板朝向所述通孔的一側設置為弧形并與所述晶圓的外緣相互匹配，所述滑板朝向所述通孔的一側形成弧形抵接面，各所述弧形抵接面朝遠離所述通孔的方向凹陷，且各所述弧形抵接面自上至下朝遠離所述通孔的方向傾斜； 多個調節組件，多個所述調節組件環繞所述安裝槽間隔設置于所述載物臺，并與所述滑板的數量一致且一一對應設置；多個所述調節組件用于帶動對應的所述滑板相對所述卡盤沿所述通孔的徑向滑動至與所述晶圓的外緣抵接或脫離，以對應使多個所述滑板配合將所述晶圓夾緊或放松。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人成都云繹智創科技有限公司，其通訊地址為：610000 四川省成都市天府新區新興街道精工東一路666號聯東U谷天府國際新興科技園T2-16#-5-101；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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