中科蘇州微電子產業技術研究院萇鳳義獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中科蘇州微電子產業技術研究院申請的專利面向晶圓測試的多探針陣列實時壓力優化與控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120432412B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510918389.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權面向晶圓測試的多探針陣列實時壓力優化與控制方法是由萇鳳義設計研發完成，并于2025-07-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本面向晶圓測試的多探針陣列實時壓力優化與控制方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種面向晶圓測試的多探針陣列實時壓力優化與控制方法，涉及半導體測試技術領域，包括采集實時壓力數據和晶圓應力極限值建立初始分布狀態，通過位移計算接觸面積和角度確定應力集中因子進行壓力修正，計算應變率分布識別敏感區進行壓力補償，監測應力應變比值識別微裂紋萌生點確定最佳加壓參數，并實時監控預警。本發明可減少晶圓測試過程中的損傷風險，提高測試精度和良品率。
本發明授權面向晶圓測試的多探針陣列實時壓力優化與控制方法在權利要求書中公布了：1.面向晶圓測試的多探針陣列實時壓力優化與控制方法，其特征在于，包括： 采集多探針陣列的實時壓力數據和晶圓應力極限值，建立各探針的初始壓力分布狀態； 分別獲取各探針在加壓過程中的橫向位移量和縱向位移量，根據初始壓力分布狀態計算探針與晶圓的實際接觸面積和接觸角度，根據接觸面積和接觸角度計算應力集中因子，結合所述應力集中因子對探針壓力進行修正，得到修正壓力值； 根據修正壓力值計算晶圓表面應變率分布，識別應變率突變點，將相鄰應變率突變點之間的區域劃分為應力敏感區，獲取應力敏感區內探針受力方向的切向分量和法向分量，計算探針受力的偏轉程度，基于偏轉程度對探針壓力進行實時補償，得到補償壓力值； 采集探針施加補償壓力值過程中的位移增量和受力增量，計算探針加壓過程中的應力應變比值，根據應力應變比值的變化趨勢識別晶圓表面微裂紋萌生點，當檢測到微裂紋萌生點時計算最佳加壓速率和最大加壓閾值； 實時監測探針壓力，當壓力超出最大加壓閾值時觸發報警信號。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中科蘇州微電子產業技術研究院，其通訊地址為：215009 江蘇省蘇州市蘇州工業園區金雞湖大道99號蘇州納米城1幢505、507；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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