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龍圖騰網獲悉瑋晶科技(泰州)有限公司申請的專利一種涂膠顯影機晶圓定位裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120421189B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510932966.7，技術領域涉及：B05C13/02；該發明授權一種涂膠顯影機晶圓定位裝置是由劉英設計研發完成，并于2025-07-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種涂膠顯影機晶圓定位裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體集成電路制造技術領域，具體為一種涂膠顯影機晶圓定位裝置，包括晶圓拿取點膠臺，所述晶圓拿取點膠臺前側的左側固定連接有晶圓涂膠機構，所述晶圓拿取點膠臺包括底臺，所述底臺的頂部右側固定連接有拿取組件，所述底臺的頂部左側固定連接有點膠組件，所述晶圓涂膠機構包括旋轉控制底座，所述旋轉控制底座的頂部設置有旋轉臺，本發明通過設置有晶圓拿取點膠臺與晶圓涂膠機構，實現了晶圓在涂膠顯影機中的高精度、高效率定位與加工，通過一系列精密的機械結構和電氣控制，本發明確保了晶圓在拿取、放置、涂膠等各個加工步驟中的穩定性和準確性，從而大大提高了半導體制造、微電子加工等領域的生產效率和產品質量。

本發明授權一種涂膠顯影機晶圓定位裝置在權利要求書中公布了：1.一種涂膠顯影機晶圓定位裝置，包括晶圓拿取點膠臺（1），其特征在于：所述晶圓拿取點膠臺（1）前側的左側固定連接有晶圓涂膠機構（2）； 所述晶圓拿取點膠臺（1）包括底臺（11），所述底臺（11）的頂部右側固定連接有拿取組件（12），所述底臺（11）的頂部左側固定連接有點膠組件（13）； 所述底臺（11）包括底立板（111），所述底立板（111）的頂部固定連接有頂銜接板（112），所述頂銜接板（112）的內壁前側固定連接有晶圓放置管（115），所述頂銜接板（112）的頂部與晶圓放置管（115）對其的一側固定連接有晶圓拿取導向盤（116），所述頂銜接板（112）頂部后側的左右兩側皆固定連接有側支撐立板（114），所述底立板（111）的右側固定連接有倒U型支撐立板（113），所述底立板（111）的后側固定連接有L型連接臺（117），所述L型連接臺（117）頂部左側的兩側皆固定連接有點膠組件連接立板（118）； 所述拿取組件（12）包括拿取組件底板（121），所述拿取組件底板（121）底部的兩側皆固定連接在兩個側支撐立板（114）的頂部，所述拿取組件底板（121）的底部右側固定連接在側支撐立板（114）的頂部，所述拿取組件底板（121）的頂部固定連接有頂托板（122），所述頂托板（122）頂部后側的左右兩側皆固定連接有側塊（123），所述頂托板（122）頂部后側在兩個側塊（123）內側的中部固定連接有導向塊（124），所述導向塊（124）與右側側塊（123）的內側固定連接有電動推桿（125），所述電動推桿（125）的左端延伸至導向塊（124）的左側且固定連接有橫L型推拉塊（126），所述橫L型推拉塊（126）的前側固定連接有齒條桿（127），所述頂托板（122）的中部固定連接有導向橫板（128），所述齒條桿（127）的底部滑動連接在導向橫板（128）的頂部； 所述頂托板（122）頂部在導向橫板（128）前側的中部轉動連接有柱狀轉桿（1211），所述柱狀轉桿（1211）的外壁底部固定連接有齒輪（1212），所述齒輪（1212）的外壁與齒條桿（127）的前側嚙合，所述柱狀轉桿（1211）的頂端轉動連接有頂板（1210），所述頂板（1210）底部右側的三邊皆固定連接有柱狀立桿（129），三個所述柱狀立桿（129）的底端皆固定連接在頂托板（122）頂部右側前側的三邊，所述柱狀轉桿（1211）的外壁中部固定連接有連接軸（1213），所述連接軸（1213）的外壁固定連接有連接臂（1214），所述連接臂（1214）的前側固定連接有拿取電動推桿連接塊（1217），所述拿取電動推桿連接塊（1217）的內壁固定連接有拿取電動推桿（1218），所述拿取電動推桿（1218）的底端固定連接有真空吸盤（1219），所述真空吸盤（1219）的外壁兩側皆固定連接有柱狀壓桿連接桿（1220），兩個所述柱狀壓桿連接桿（1220）底部遠離真空吸盤（1219）的一側均固定連接有柱狀壓桿（1221），所述真空吸盤（1219）外壁的左右兩側皆固定連接有通氣管（1223），所述連接臂（1214）的底部固定連接有抽氣控制塊（1222），兩個所述通氣管（1223）遠離真空吸盤（1219）的一端皆固定連接在抽氣控制塊（1222）的左右兩側，所述連接臂（1214）左右兩側的前側皆固定連接有頂連接塊側桿（1215），兩個所述頂連接塊側桿（1215）的內側頂部固定連接有頂連接塊（1216），所述頂連接塊（1216）的底部固定連接在拿取電動推桿（1218）的頂端； 所述點膠組件（13）包括點膠件底板（131），所述點膠件底板（131）底部的兩側皆固定連接在兩個點膠組件連接立板（118）的頂部，所述點膠件底板（131）的頂部固定連接有點膠件頂托板（132），所述點膠件頂托板（132）頂部后側的左側固定連接有限制塊（135），所述點膠件頂托板（132）頂部后側的中部與右側皆固定連接有柱狀推拉橫桿導向塊（134），兩個所述柱狀推拉橫桿導向塊（134）的內壁滑動連接有柱狀推拉橫桿（136），所述柱狀推拉橫桿（136）的右端固定連接有橫L型推拉桿（137），所述橫L型推拉桿（137）的底部前側固定連接在橫L型推拉塊（126）的頂部，所述柱狀推拉橫桿（136）的左端固定連接有第二L型連接塊（138），所述第二L型連接塊（138）的前側固定連接有第二齒條桿（139），所述點膠件頂托板（132）的頂部中部固定連接有第二導向橫板（133），所述第二齒條桿（139）的底部滑動連接在第二導向橫板（133）的頂部，所述點膠件頂托板（132）頂部在第二導向橫板（133）前側的中部轉動連接有第二柱狀轉桿（1312），所述第二柱狀轉桿（1312）的外壁底部固定連接有第二齒輪（1313），所述第二齒輪（1313）的外壁與第二齒條桿（139）的前側嚙合，所述第二柱狀轉桿（1312）的頂端轉動連接有第二頂板（1311），所述第二頂板（1311）底部右側的三邊皆固定連接有第二柱狀立桿（1310），三個所述第二柱狀立桿（1310）的底端皆固定連接在點膠件頂托板（132）頂部右側的前側三邊，所述第二柱狀轉桿（1312）的外壁中部固定連接有第二連接軸（1314），所述第二連接軸（1314）的外壁固定連接有第二連接臂（1315），所述第二連接臂（1315）的前側固定連接有點膠電動推桿連接塊（1318），所述點膠電動推桿連接塊（1318）的內壁固定連接有點膠電動推桿（1319），所述點膠電動推桿（1319）的底端固定連接有點膠頭（1320），所述第二連接臂（1315）的底部固定連接有存膠倉（1321），所述點膠頭（1320）的外壁的兩側皆固定連接有通膠管（1322），兩個所述通膠管（1322）遠離點膠頭（1320）的一端皆固定連接在存膠倉（1321）的左右兩側，所述第二連接臂（1315）左右兩側的前側皆固定連接有第二頂連接塊側桿（1316），兩個所述第二頂連接塊側桿（1316）的內側頂部固定連接有第二頂連接塊（1317），所述第二頂連接塊（1317）的底部固定連接在點膠電動推桿（1319）的頂端； 所述晶圓涂膠機構（2）包括旋轉控制底座（21），所述旋轉控制底座（21）的頂部設置有旋轉臺（22）。

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