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龍圖騰網獲悉翌穎科技(上海)有限公司申請的專利一種高精密反射式膜厚測量方法及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120488973B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510970552.3，技術領域涉及：G01B11/06；該發明授權一種高精密反射式膜厚測量方法及系統是由李揚;肖烈斌;陸志揚;肖俊林;何磊設計研發完成，并于2025-07-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種高精密反射式膜厚測量方法及系統在說明書摘要公布了：本發明涉及一種高精密反射式膜厚測量方法及系統，涉及薄膜測量技術領域，其包括：控制預設的光源模塊發射測量光束至需要進行膜厚測量的薄膜材料；采集測量光束照射至薄膜材料發生反射后的反射光檢測信息；基于反射光檢測信息實時生成位置調整信息，并將位置調整信息輸出至預設的位置調節模塊以控制預設的反射光探測模塊或預設的光源模塊進行位置調整，且重新采集反射光檢測信息并定義為反射光更新信息；基于反射光更新信息進行選取以生成反射光選取信息；基于反射光選取信息進行橢圓偏振分析以形成薄膜厚度結果值，并輸出薄膜厚度結果值。本發明具有方便對膜厚進行高精度測量的效果。

本發明授權一種高精密反射式膜厚測量方法及系統在權利要求書中公布了：1.一種高精密反射式膜厚測量方法，其特征在于，包括： S1：控制預設的光源模塊發射測量光束至需要進行膜厚測量的薄膜材料； S2：采集測量光束照射至薄膜材料發生反射后的反射光檢測信息； S3：基于所述反射光檢測信息實時生成位置調整信息，并將所述位置調整信息輸出至預設的位置調節模塊以控制預設的反射光探測模塊或預設的光源模塊進行位置調整，且重新采集所述反射光檢測信息并定義為反射光更新信息； S4：基于所述反射光更新信息進行選取以生成反射光選取信息； S5：基于所述反射光選取信息進行橢圓偏振分析以形成薄膜厚度結果值，并輸出所述薄膜厚度結果值； 所述位置調整信息的生成方法包括： S31：采集發射情況信息； S32：基于所述發射情況信息調取發射光強度值及發射位置點； S33：基于所述反射光檢測信息調取檢測位置點及反射光強度值； S34：基于所述發射位置點與所述檢測位置點確定強度變化區間及反射角度值； S35：基于所述發射光強度值、所述反射光強度值及所述強度變化區間確定光強偏差值； S36：基于所述光強偏差值生成光強偏差調整信息； S37：基于所述反射角度值生成角度調整信息； S38：基于所述光強偏差調整信息與所述角度調整信息進行結合以形成所述位置調整信息； 所述光強偏差調整信息的生成方法包括： S361：采集測量時間點及測量位置點； S362：基于所述測量位置點確定適宜時間段； S363：基于所述測量時間點與所述適宜時間段確定時間偏差值； S364：基于所述時間偏差值確定光強時間基準偏差值； S365：確定所述光強偏差值是否大于所述光強時間基準偏差值； S366：若為是，則基于所述光強偏差值與所述時間偏差值生成光強調整移動信息，并將所述光強調整移動信息作為所述光強偏差調整信息； S367：若為否，則基于所述光強偏差值與所述光強時間基準偏差值之間的差值并作為光強異常偏差值； S368：基于所述光強異常偏差值確定光強異常移動信息，并將所述光強異常移動信息作為所述光強偏差調整信息； 所述角度調整信息的生成方法包括： S371：確定所述反射角度值是否落入預設的角度基準區間； S372：若為是，則基于所述角度基準區間確定角度基準中間值； S373：基于所述反射角度值與所述角度基準中間值生成基準調整信息，并將所述基準調整信息作為所述角度調整信息； S374：若為否，則計算所述反射角度值與預設的角度基準區間之間的差值并作為反射角度偏差值； S375：基于所述反射角度偏差值確定角度偏差距離調整值； S376：基于所述角度偏差距離調整值確定接收調整信息，并將所述接收調整信息作為所述角度調整信息。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人翌穎科技(上海)有限公司，其通訊地址為：201100 上海市閔行區紫星路588號2幢3樓330室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。