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龍圖騰網(wǎng)獲悉山東省科學(xué)院激光研究所;山東省特種設(shè)備檢驗(yàn)研究院集團(tuán)有限公司申請的專利加速度傳感器及其制備方法、加速度傳感系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120468458B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202510968519.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01P15/093；該發(fā)明授權(quán)加速度傳感器及其制備方法、加速度傳感系統(tǒng)是由王舒蒙;朱波;柳洋;申孝民;高相宇;張偉;王兆偉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-15向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本加速度傳感器及其制備方法、加速度傳感系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本申請涉及加速度檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種加速度傳感器及其制備方法、加速度傳感系統(tǒng)。其中，加速度傳感器包括：襯底；第一諧振腔，可移動(dòng)的設(shè)置于襯底；第二諧振腔，設(shè)置于襯底，第二諧振腔與第一諧振腔耦合且錯(cuò)位設(shè)置；其中，在加速度傳感器受到加速度的情況下，第一諧振腔相對于第二諧振腔移動(dòng)，以使第一諧振腔與第二諧振腔之間的耦合長度發(fā)生變化；總線波導(dǎo)，設(shè)置于襯底，總線波導(dǎo)與第二諧振腔耦合，總線波導(dǎo)被配置為接收激光并輸出耦合長度對應(yīng)的光信號(hào)。這樣，能夠提高對加速度的探測精度，減少外界環(huán)境變化對加速度傳感測量帶來的影響。

本發(fā)明授權(quán)加速度傳感器及其制備方法、加速度傳感系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種加速度傳感器，其特征在于，包括： 襯底（21）； 第一諧振腔（22），可移動(dòng)的設(shè)置于所述襯底（21）； 第二諧振腔（23），設(shè)置于所述襯底（21），所述第二諧振腔（23）與所述第一諧振腔（22）耦合且錯(cuò)位設(shè)置； 其中，在所述加速度傳感器受到加速度的情況下，所述第一諧振腔（22）相對于所述第二諧振腔（23）移動(dòng)，以使所述第一諧振腔（22）與所述第二諧振腔（23）之間的耦合長度發(fā)生變化； 總線波導(dǎo)（24），設(shè)置于所述襯底（21），所述總線波導(dǎo)（24）與所述第二諧振腔（23）耦合，所述總線波導(dǎo)（24）被配置為接收激光并輸出所述耦合長度對應(yīng)的光信號(hào)； 所述第一諧振腔（22）和所述第二諧振腔（23）均為跑道型諧振腔； 所述第一諧振腔（22）和所述第二諧振腔（23）的側(cè)壁長度均為L； 所述耦合長度的取值范圍為； 第一懸臂梁（25），設(shè)置于所述襯底（21），所述第一懸臂梁（25）的第一端與所述襯底（21）連接，所述第一懸臂梁（25）的第二端與所述第一諧振腔（22）連接； 第二懸臂梁（26），設(shè)置于所述襯底（21），所述第二懸臂梁（26）的第一端與所述襯底（21）連接，所述第二懸臂梁（26）的第二端與所述第一諧振腔（22）連接； 在所述加速度傳感器受到加速度的情況下，所述第一懸臂梁（25）和所述第二懸臂梁（26）發(fā)生伸縮，以帶動(dòng)所述第一諧振腔（22）相對于所述第二諧振腔（23）移動(dòng)； 容置腔（27），開設(shè)于所述襯底（21）； 所述第一懸臂梁（25）的第一端與所述容置腔（27）的第一腔壁連接； 所述第二懸臂梁（26）的第一端與所述容置腔（27）的第二腔壁連接； 所述第一腔壁與所述第二腔壁為所述容置腔（27）相對的腔壁。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人山東省科學(xué)院激光研究所;山東省特種設(shè)備檢驗(yàn)研究院集團(tuán)有限公司，其通訊地址為：272073 山東省濟(jì)寧市高新區(qū)海川路46號(hào)激光所綜合樓；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。