浜松光子學株式會社是松克洋獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浜松光子學株式會社申請的專利激光加工裝置及激光加工方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115039204B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180011344.0，技術領域涉及：H01L21/304；該發明授權激光加工裝置及激光加工方法是由是松克洋;坂本剛志設計研發完成，并于2021-01-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本激光加工裝置及激光加工方法在說明書摘要公布了：本發明的激光加工裝置是將聚光區域的一部分對準對象物而照射激光，由此在對象物的內部沿著假想面形成改質區域。激光加工裝置，具備：支撐對象物的支撐部；將激光照射于對象物的照射部；以聚光區域的一部分在對象物的內部沿著假想面移動的方式，使支撐部及照射部的至少一方移動的移動機構；及控制支撐部、照射部及移動機構的控制部，照射部以在與激光的光軸垂直的面內的聚光區域的一部分的形狀具有長邊方向的方式具有對激光進行成形的成形部。長邊方向是與聚光區域的一部分的移動方向交叉的方向。
本發明授權激光加工裝置及激光加工方法在權利要求書中公布了：1.一種激光加工裝置，是將聚光區域的一部分對準對象物而照射激光，由此在所述對象物的內部沿著假想面形成改質區域的激光加工裝置，其具備： 支撐所述對象物的支撐部； 將所述激光照射于所述對象物的照射部； 以所述聚光區域的一部分在所述對象物的內部沿著所述假想面移動的方式，使所述支撐部及所述照射部的至少一方移動的移動機構；及 控制所述支撐部、所述照射部及所述移動機構的控制部， 所述照射部具有以垂直于所述激光的光軸的面內的所述聚光區域的一部分的形狀具有長邊方向的方式對所述激光進行成形的成形部， 所述長邊方向是與所述聚光區域的一部分的移動方向交叉的方向。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浜松光子學株式會社，其通訊地址為：日本靜岡縣；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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