日本株式會社日立高新技術科學永原幸兒獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉日本株式會社日立高新技術科學申請的專利粒子射束裝置和復合射束裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113496860B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110279321.X，技術領域涉及：H01J37/26；該發明授權粒子射束裝置和復合射束裝置是由永原幸兒;間所祐一設計研發完成，并于2021-03-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本粒子射束裝置和復合射束裝置在說明書摘要公布了：本發明提供粒子射束裝置和復合射束裝置，該粒子射束裝置能夠選擇性地且適當地切換帶電粒子射束和中性粒子射束。粒子射束鏡筒19具備離子源41、聚光鏡52、電荷交換柵極55和物鏡56。離子源41產生離子。聚光鏡52通過切換離子射束的聚焦而切換離子射束和中性的射束作為照射至試樣S的粒子射束。電荷交換柵極55通過將離子射束的至少一部分中性化而轉換成中性粒子射束。物鏡56配置于電荷交換柵極55的下游側。在對試樣S照射中性粒子射束作為粒子射束的情況下，物鏡56減少朝向試樣S的離子射束。
本發明授權粒子射束裝置和復合射束裝置在權利要求書中公布了：1.一種粒子射束裝置，其特征在于，該粒子射束裝置具備： 粒子射束鏡筒，其對試樣照射粒子射束； 帶電粒子源，其在所述粒子射束鏡筒內產生帶電粒子； 轉換部，其使在所述粒子射束鏡筒內從所述帶電粒子源產生的所述帶電粒子的射束的至少一部分中性化，由此轉換成中性粒子的射束； 切換部，其在所述粒子射束鏡筒內切換所述帶電粒子的射束和所述中性粒子的射束作為所述粒子射束；和 減少部，其在所述轉換部的下游側減少朝向所述試樣的所述帶電粒子的射束， 所述減少部具備物鏡，按照在比所述轉換部靠下游側的位置使所述帶電粒子的射束減速而進行屏蔽的方式對該物鏡施加電壓。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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